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J-GLOBAL ID：201802281792985850   整理番号：18A0942363

垂直バッファ層と増強された電気光学効率を持つ高アスペクト比LiNbO_3リッジ導波路【JST・京大機械翻訳】

High-Aspect-Ratio LiNbO₃ Ridge Waveguide With Vertical Buffer Layer and Enhanced Electro-Optical Efficiency

著者 (11件)： Caspar Alexis (FEMTO-ST Institute, University of Bourgogne Franche-Comte, CNRS, France) ,  Roussey Matthieu (Institute of Photonics, University of Eastern Finland, Finland) ,  Hayrinen Markus (Institute of Photonics, University of Eastern Finland, Finland) ,  Laukkanen Janne (Institute of Photonics, University of Eastern Finland, Finland) ,  Perignon Anthony (FEMTO-ST Institute, University of Bourgogne Franche-Comte, CNRS, France) ,  Behague Florent (FEMTO-ST Institute, University of Bourgogne Franche-Comte, CNRS, France) ,  Calero Venancio (FEMTO-ST Institute, University of Bourgogne Franche-Comte, CNRS, France) ,  Ulliac Gwenn (FEMTO-ST Institute, University of Bourgogne Franche-Comte, CNRS, France) ,  Bernal Maria-Pilar (FEMTO-ST Institute, University of Bourgogne Franche-Comte, CNRS, France) ,  Kuittinen Markku (Institute of Photonics, University of Eastern Finland, Finland) ,  Courjal Nadege (FEMTO-ST Institute, University of Bourgogne Franche-Comte, CNRS, France)
資料名： Journal of Lightwave Technology  (Journal of Lightwave Technology)
巻： 36  号： 13  ページ： 2702-2707  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0922A  ISSN： 0733-8724  CODEN： JLTEDG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高アスペクト比リッジは標準リソグラフィー技術で容易に処理できないので,原子層堆積と正確なダイシングに基づく代替解を提案し,レリーフ表面の均一被覆とリッジ頂部での選択的リフトオフの両方を可能にした。この技術を用いて,EO重なり係数の90%をもつ電気光学(EO)低損失テーパ導波路を実証し,標準Ti非拡散EO変調器よりも8倍優れた性能指数をもつFabry-Perotベース150μm長強度変調器を実証した。さらに,リッジ内部のFabry-Perot空洞の製造を最適化することにより,強化が期待される。これらの開発は,光学的応用だけでなく,MEMS,音響またはマイクロ流体デバイスに対しても,能動的な三次元微細構造への道を開く。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *バッファ層 ,  マイクロ流体デバイス ,  テーパ導波管 ,  微細構造 ,  *リッジ導波管 ,  リソグラフィー ,  性能指数 ,  被覆 ,  三次元 ,  変調器 ,  MEMS
準シソーラス用語： 強度変調器 ,  リフトオフ ,  ダイシング ,  *高アスペクト比 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光通信方式・機器  (ND10000B) ,  計算機網  (JC03000K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 垂直 ,  バッファ層 ,  増強 ,  光学 ,  高アスペクト比 ,  リッジ導波路