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J-GLOBAL ID：201802283320025429   整理番号：18A1751879

線形変位台直線度高精度ヘテロダイン干渉計測定装置【JST・京大機械翻訳】

High-precision straightness interferometer for linear moving stage

著者 (5件)： Jin Tao (上海理工大学光電信息与計算机工程学院,上海,200093) ,  Liu Jinglin (上海理工大学光電信息与計算机工程学院,上海,200093) ,  Yang Wei (普愛納米位移技術(上海)有限公司,上海,201203) ,  Le Yanfen (上海理工大学光電信息与計算机工程学院,上海,200093) ,  Hou Wenmei (上海理工大学光電信息与計算机工程学院,上海,200093)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 26  号： 7  ページ： 1570-1577  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 直線度測定には,限られた測定範囲,低い精度,およびアベル誤差がある。本論文では,Koesterプリズム,角錐プリズム,1/4波長板,楔面プリズム,楔面反射鏡から成る高精密直線度ヘテロダイン干渉計を提案した。くさび面プリズムは直線度センサであり,コーナープリズムと楔反射鏡は測定信号の反射素子である。二重周波数レーザ信号は直線度干渉計に進入し、幾何空間対称四光路測定信号を構成する。四経路測定光は,ほぼ完全に同じ経路で,干渉計の安定性を効果的に改善し,そして,空間誤差を最小化する。楔角が1°のくさび角プリズムと2π/512細分の位相計を用いて、直線度測定分解能は17.71nmである。この方法は,同じ長さの大反射基準鏡を必要としないが,高い分解能を実現でき,理論的および実験的証明は,空間対称測定構造が,ピッチ,偏向およびロール角に起因するアベル誤差の漏話を避け,そして,光学素子が少なく,構造が単純で,便利であることを実証した。結果は直接に米の定義に遡ることができる。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 対称性 ,  反射鏡 ,  センサ ,  *真直度 ,  *線形性 ,  分解能 ,  プリズム ,  レーザ ,  *干渉計 ,  幾何学 ,  角錐 ,  位相計
準シソーラス用語： 光路 ,  *ヘテロダイン干渉計 ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 線形 ,  変位 ,  直線度 ,  ヘテロダイン干渉計 ,  測定装置