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J-GLOBAL ID：201802283361152545   整理番号：18A0971459

膨張領域を持つ2MHzおよび13.56MHz誘導結合水素プラズマにおける電子特性の実験的および数値的研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental and numerical investigations of electron characteristics in 2 MHz and 13.56 MHz inductively coupled hydrogen plasmas with an expansion region

著者 (6件)： Gao Fei (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Li Hong (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Yang Wei (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Liu Jia (Shanghai Institute of Space Propulsion, Shanghai 201112, People’s Republic of China) ,  Zhang Yu-Ru (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China) ,  Wang You-Nian (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion, and Electron Beams (Ministry of Education), School of Physics, Dalian University of Technology, Dalian 116024, People’s Republic of China)
資料名： Physics of Plasmas  (Physics of Plasmas)
巻： 25  号： 1  ページ： 013515-013515-7  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0641B  ISSN： 1070-664X  CODEN： PHPAEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 膨張領域を持つ2MHzと13.56MHzの誘導結合水素放電で電子特性を調べた。高い蒸着パワーにおける電子エネルギー確率関数(EEPF),電子密度,および電子温度に及ぼす電源のガス圧力とラジオ周波数の影響を提示した。放電の駆動領域における測定されたEEPFは,圧力が増加すると,3温度Maxwell分布からMaxwell分布に変化する。測定されたプラズマパラメータに基づいて計算された異なる特性周波数は,電子の確率的加熱が0.3Paより低い圧力で支配され,1.0Paより低い圧力では考慮されなければならないが,オーム加熱はより高い圧力で支配されることを示した。さらに,全エネルギーの関数としてのEEPFは,軸方向位置と圧力により同一形状から離散形状に発展し,非局所から局所領域への電子動力学の遷移を示した。これは計算した電子エネルギー緩和長で説明できる。実験結果を検証するために,COMSOL多物理を用いて,異なる圧力と電源の周波数における電子密度と電子温度を計算した。プラズマパラメータのシミュレートした軸方向分布は5.0Paで測定した結果と良く一致したが,計算した電子密度は低く,計算した電子温度は1.0Paで高かった。さらに,高出力堆積放電(1.5kW)における軸方向分解EEPF,電子密度,および電子温度の周波数依存性はなかった。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *電磁結合 ,  全エネルギー ,  緩和現象 ,  周波数 ,  抵抗加熱 ,  軸方向 ,  放電 ,  固有振動数 ,  電子温度 ,  プラズマパラメータ ,  電子密度 ,  周波数依存性 ,  *水素
準シソーラス用語： Maxwell分布 ,  電子エネルギー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： プラズマ中の電磁波  (BJ02032F) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 膨張 ,  誘導結合 ,  水素プラズマ ,  電子 ,  実験 ,  数値 ,  研究