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J-GLOBAL ID：201802283456749641   整理番号：18A0666368

光で動くアモルファス窒化炭素薄膜

Photomechanical response of amorphous carbon nitride thin films

著者 (1件)： 青野祐美 (防衛大学校 電気情報学群)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 87  号： 4  ページ： 282-286  発行年： 2018年04月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： アモルファス窒化炭素(a-CN_x)薄膜は,高硬度,低摩擦係数がよく知られるところであるが,作製方法や条件で物性値が大きく異なるという特徴を有している。電気的には半導体から絶縁体まで,光学バンドギャップは0から3eVを超える値まで報告があり,多彩な特性を見せる。本稿では,最近,反応性高周波マグネトロンスパッタ法で作製したa-CN_x薄膜において見つかった,可視光をダイレクトに力学的エネルギーに変換する光誘起変形について紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *非晶質 ,  *炭素化合物 ,  *窒化物 ,  マグネトロンスパッタリング ,  反応性スパッタリング ,  RFスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *変形 ,  *蒸着膜 ,  光学ギャップ ,  基板 ,  柔軟性 ,  ポンプ ,  ポリエチレンナフタレート ,  セルロース ,  セルロース繊維 ,  ナノファイバ
準シソーラス用語： 窒化炭素 ,  高周波スパッタリング ,  *光変形 ,  光駆動ポンプ ,  セルロースナノ繊維

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

引用文献 (33件)：

• M. Matsumoto, S. Terrettaz, and H. Tachibana: Adv. Colloid Interfac. 87, 147 (2000).
• W. Francis, A. Dunne, C. Delaney, L. Florea, and D. Diamond: Sensor. Actuat. B-chem. 250, 608 (2017).
• J.E. Marshall, Y. Ji, N. Torras, K. Zinoviev, and E.M. Terentjev: Soft Matter 8, 1570 (2012).
• X. Zhang, Z. Yu, C. Wang, D. Zarrouk, J.-W.T. Seo, J.C. Cheng, A.D. Buchan, K. Takei, Y. Zhao, J.W. Ager, J. Zhang, M. Hettick, M.C. Hersam, A.P. Pisano, R.S. Fearing, and A. Javey: Nat. Commun. 5, 2983 (2014).
• A.A. Golovin and V.A. Volpert: Phys. Fluids 19, 122104 (2007).

タイトルに関連する用語 (3件)： アモルファス ,  窒化 ,  炭素薄膜