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J-GLOBAL ID：201802283962392443   整理番号：18A0138344

packageless音響波センサ用のダイヤモンド/ZnO/LiNbO_3構造【Powered by NICT】

Diamond/ZnO/LiNbO₃ structure for packageless acoustic wave sensors

著者 (15件)： Floer Cecile (Institut Jean Lamour UMR 7198, Universite ́ de Lorraine - CNRS, Nancy, France) ,  Moutaouekkil Mohammed (Institut Jean Lamour UMR 7198, Universite ́ de Lorraine - CNRS, Nancy, France) ,  Bartoli Florian (Institut Jean Lamour UMR 7198, Universite ́ de Lorraine - CNRS, Nancy, France) ,  Mishra Harshad (Institut Jean Lamour UMR 7198, Universite ́ de Lorraine - CNRS, Nancy, France) ,  Murtry Stefan Mc (Institut Jean Lamour UMR 7198, Universite ́ de Lorraine - CNRS, Nancy, France) ,  Hage-Ali Sami (Institut Jean Lamour UMR 7198, Universite ́ de Lorraine - CNRS, Nancy, France) ,  Elmazria Omar (Institut Jean Lamour UMR 7198, Universite ́ de Lorraine - CNRS, Nancy, France) ,  Dekkar Damia (LSPM - CNRS, UPR 3407, Universite ́ Paris 13, Sorbonne Paris Cite ́, Villetaneuse, France) ,  Baudrillart Benoit (LSPM - CNRS, UPR 3407, Universite ́ Paris 13, Sorbonne Paris Cite ́, Villetaneuse, France) ,  Benedic Fabien (LSPM - CNRS, UPR 3407, Universite ́ Paris 13, Sorbonne Paris Cite ́, Villetaneuse, France) ,  Zhgoon Sergei (National Research University “MPEI” Moscow, Russia) ,  Talbi Abdelkrim (Joint International Laboratory LIA LICS/LEMAC, IEMN UMR CNRS 8520, ComUE Lille Nord de France, ECLille, Villeneuve d’Ascq, France) ,  Matar Olivier Bou (Joint International Laboratory LIA LICS/LEMAC, IEMN UMR CNRS 8520, ComUE Lille Nord de France, ECLille, Villeneuve d’Ascq, France) ,  Bartoli Florian (LMOPS EA 4423, CentraleSupe ́lec - Universite ́ de Lorraine, Metz, France) ,  Aubert Thierry (LMOPS EA 4423, CentraleSupe ́lec - Universite ́ de Lorraine, Metz, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICSENS  ページ： 1-3  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面音響波技術に基づくpackagelessセンサの候補としてのダイヤモンド/ZnO/LiNbO3_3構造,数値的および実験的に,を研究した。構造は,AlN/ZnO/LiNbO3_3構造と比較した,AlNに関してダイヤモンドの優れた性能を明らかにした。ZnO/Si上のナノ結晶ダイヤモンド成長の初期実験結果を示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 窒化アルミニウム ,  ニオブ酸リチウム ,  *ダイヤモンド ,  *センサ ,  弾性表面波 ,  *酸化亜鉛 ,  *音波
準シソーラス用語： ナノダイヤモンド , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 音響波 ,  ダイヤモンド ,  ZnO