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J-GLOBAL ID：201802284187856865   整理番号：18A1615216

TiC超ナノ結晶薄膜の粒界改質:摩擦物理的性質の改善【JST・京大機械翻訳】

Grain boundary modification of TiC ultrananocrystalline thin films: Improvement in tribo-physical properties

著者 (4件)： Natarajan Gomathi (Materials Science Group, Indira Gandhi Centre for Atomic Research, Kalpakkam, 603102, Tamil Nadu, India) ,  Kumar Niranjan (Materials Science Group, Indira Gandhi Centre for Atomic Research, Kalpakkam, 603102, Tamil Nadu, India) ,  Pandian Ramanathaswamy (Materials Science Group, Indira Gandhi Centre for Atomic Research, Kalpakkam, 603102, Tamil Nadu, India) ,  Amirthapandian S. (Materials Science Group, Indira Gandhi Centre for Atomic Research, Kalpakkam, 603102, Tamil Nadu, India)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 217  ページ： 468-476  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ナノ結晶炭化チタン(nc-TiC)-非晶質炭素(a-C)ナノ複合材料膜のトライボロジー特性に及ぼす粒界改質の影響について報告した。TiC薄膜を最適水素含有雰囲気中でTiCターゲットを用いてマグネトロンスパッタリングにより堆積した。ナノ/超ナノ結晶TiC相と短距離秩序化グラファイト相が薄膜中のa-Cマトリックス中に分散していることが分かった。結晶粒界における黒鉛化相とa-Cの化学組成と化学構造を,基板温度を制御することによって改質した。Raman分光法は,室温で,膜が結晶粒界を占めるa-C相によって支配されることを示した。しかし,中程度の堆積温度では,膜の黒鉛化が観察され,そのような改質はa-Cマトリックス内の短い範囲の結晶性グラファイト相の形成に関連していた。摩擦係数は膜のRamanシフトのI(D)/I(G)比の増加と共に減少することが分かった。ナノ結晶化ドメインで囲まれたTiCナノ/超ナノ結晶相を有する膜において,摩擦係数の持続可能な超低値が観察された。これは,容易に剪断し,無視できる摩擦抵抗を生成する短い範囲のグラファイト相の層状格子構造に関連している可能性がある。摩擦係数の超低値と高耐摩耗性の持続可能性は,黒鉛化した移動膜の形成に起因する。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： グラファイト ,  化学組成 ,  *チタン ,  結晶度 ,  黒鉛化 ,  複合膜 ,  *ナノ結晶 ,  剪断 ,  短範囲規則度 ,  *結晶粒界 ,  *薄膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  摩擦係数 ,  Raman分光法
準シソーラス用語： *超ナノ結晶 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 黒鉛化TiC膜 ,  超低摩擦 ,  高耐摩耗性 ,  転写膜

分類 (3件)： その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： TiC ,  ナノ結晶薄膜 ,  粒界 ,  改質 ,  摩擦 ,  物理的性質