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J-GLOBAL ID：201802284927285535   整理番号：18A0409099

CMPソフトパッド表面性状の観察調査-高圧ジェットのパッド表面性状への影響評価-

著者 (7件)： 北村将 (九大) ,  渡邊敦則 (九大) ,  黒河周平 (九大) ,  林照剛 (九大) ,  檜山浩國 (荏原) ,  和田雄高 (荏原) ,  高東智佳子 (荏原)
資料名： 日本機械学会九州支部総会・講演会(CD-ROM)  (日本機械学会九州支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 70th  号： (冊子)  ページ： 271-272  発行年： 2017年03月13日 
JST資料番号： L0016B  ISSN： 2424-2780  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高圧ジェットによる研磨レートの維持・安定化を図る上で重要な,「パッド表面性状と研磨性能の関係性」を探るため,処理条件の異なるCMPソフトパッドを観察し,それぞれのパッド表面性状の特徴について調査した。また,パッド表面に高圧ジェットを印加し,パッド表面性状に与える影響を調査した。観察の結果,ソフトパッド表面の大空孔縁の毛羽立ちは,ドレスにより形成され,研磨により摩滅することが判明した。また,高圧ジェットはパッド表面の毛羽立ちの構造を保ったまま,パッド屑を除去できることが分かった。(著者抄録)

シソーラス用語： *化学機械研磨 ,  噴流 ,  *切削工具 ,  電子顕微鏡観察 ,  *表面粗さ ,  評価 ,  洗浄
準シソーラス用語： *CMP【化学研磨】 ,  高圧ジェット ,  *研磨パッド ,  SEM観察 ,  影響評価

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (8件)： CMP ,  ソフト ,  パッド ,  表面性状 ,  観察 ,  調査 ,  高圧ジェット ,  影響評価