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J-GLOBAL ID：201802285075633048   整理番号：18A0384977

15keV C_60入射粒子によるオクタテトラエンのスパッタリング:反応性原子間ポテンシャルの比較【Powered by NICT】

Sputtering of octatetraene by 15keV C₆₀ projectiles: Comparison of reactive interatomic potentials

著者 (4件)： Kanski Michal (Department of Physics, Jagiellonian University, ul. Lojasiewicza 11, 30-348 Krakow, Poland) ,  Maciazek Dawid (Department of Physics, Jagiellonian University, ul. Lojasiewicza 11, 30-348 Krakow, Poland) ,  Golunski Mikolaj (Department of Physics, Jagiellonian University, ul. Lojasiewicza 11, 30-348 Krakow, Poland) ,  Postawa Zbigniew (Department of Physics, Jagiellonian University, ul. Lojasiewicza 11, 30-348 Krakow, Poland)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 393  ページ： 29-33  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 分子動力学計算機シミュレーションはオクタテトラエン分子からなる有機試料のスパッタリングに及ぼすAIREBD,ReaxFFとCOMB3原子間ポテンシャルの効果を精査するために使用されてきた。システムは垂直入射で15keV C_60投射物体によって衝撃される。シミュレーション,計算したスパッタリング収率とスパッタされた粒子の角度分布の全時間に適用した力の場の効果を調べ,議論した。ReaxFFにより記述される重要なフラグメンテーションを受けることを不均一系からの粒子放出をシミュレーションする場合に注意すべきであることが分かった。この場合,多くの粒子の電荷状態はスパッタリング中に存在する条件のための分子中の原子の部分電荷を計算するために用いる方法の不適切さのため不適当であった。この欠乏の影響を最小化するために提案した2段シミュレーション法。COMB3電位,少なくともクラスタ衝撃中に存在する条件で可能な問題である,その結果であるAIREBOまたはReaxFFとは非常に異なった。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 投射物体 ,  計算機シミュレーション ,  フラグメンテーション ,  粒子放出 ,  *反応性 ,  分子動力学 ,  *スパッタリング ,  力の場 ,  角分布 ,  クラスタ ,  *原子間ポテンシャル ,  電荷 ,  衝撃
準シソーラス用語： スパッタリング収率 ,  ReaxFF , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 計算機シミュレーション ,  スパッタリング ,  クラスタ入射粒子 ,  オクタテトラエン ,  原子間ポテンシャル

分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (3件)： スパッタリング ,  反応性 ,  原子間ポテンシャル