文献

J-GLOBAL ID：201802285365309966   整理番号：18A2176217

レーザ加工による脆性材料の割断技術に関する研究

著者 (1件)： 伊野拓一郎 (大分県産業科技セ)
資料名： 大分県産業科学技術センター研究報告(Web)  (大分県産業科学技術センター研究報告書(Web))
巻： 2017  ページ： 18-21 (WEB ONLY)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0161A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属材料の加工などによく用いられるレーザ加工を脆性材料にも応用する方法が近年注目されている。レーザを用いた脆性材料の加工法の1つにステルスダイシングと呼ばれる方法がある。ステルスダイシングはレーザをシリコンウェハ内部に連続的に照射し損傷層を形成する。別工程にて損傷層と垂直な方向に外力を加え,損傷層から発生したき裂により加工を行う方法である。ブレードによるダイシング加工と比べて多くの長所があるが,レーザ加工の特性上,加工条件が加工の品質に大きな影響を与える為,加工条件の特定が非常に重要になる。この加工条件の特定の一助となるようなシミュレーション法の確立は加工工程の効率化において非常に重要となる。そこで,簡単な力学モデルを用いて,加工条件を推定するようなプログラムを作成した。(著者抄録)

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  脆性材料 ,  切断 ,  加工条件 ,  力学モデル ,  品質
準シソーラス用語： 割断法

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (4件)：

• 技術資料 ステルスダイシング技術とその応用 -The Stealth Dicing Technologies and Their Applications- 浜松ホトニクス株式会社
• 岩田 博之,坂 公恭,坂口 大祐ステルスダイシングにより生ずる結晶欠陥解析とクラック形成メカニズムレーザー学会学術講演会第38回年次大会講演予稿集 一般講演D725pVIII06
• 西谷 弘信,陳 玳こう(王へんに行) 体積力法<重ね合せの原理による数値解析法> 培風館
• 陳 玳こう,春山 繁之 き裂と繊維材との干渉日本機械学会論文集(A編)59巻560号1993年

タイトルに関連する用語 (3件)： レーザ加工 ,  脆性材料 ,  研究