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J-GLOBAL ID：201802285649869252   整理番号：18A0118344

塗布型カーボンナノチューブ電極を有するハイブリッドセンサの高性能化に向けた検討と計測システムの開発

Improvement of hybrid sensing devices with solution-processed carbon nanotube electrodes and the development of their measurement systems

著者 (1件)： 伊東栄次 (信州大 工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 117  号： 334(OME2017 35-48)  ページ： 43-47  発行年： 2017年11月24日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では塗布形成なカーボンナノチューブ膜を電極としたセンサデバイスとその計測システムの開発と評価を行った。カーボンナノチューブガス透過性電極と含フッ素ポリイミドからなる容量式薄膜湿度センサは薄膜化による高速化と高感度が可能となる。その動作を検証するために,厚さを変えて感度及び応答時間の検討を行った。また,高速なガス置換や湿度等の濃度依存性とms台の高速な計測を実現するための計測システムの開発を行い,0.1s未満の超高速応答を実証した。また,伸縮性に優れたポリウレタン上にカーボンナノチューブを塗布した電気式の伸縮センサを作製し,伸び縮みと抵抗変化の関係を調べ簡易的なモーションセンサを試作した。(著者抄録)

シソーラス用語： 塗布 ,  *単層カーボンナノチューブ ,  炭素電極 ,  *ポリイミド ,  *ハイブリッド方式 ,  *湿度センサ ,  *静電容量 ,  ポリウレタン ,  *歪測定 ,  *膜電極 ,  高速度 ,  高感度 ,  応答時間 ,  動き検出 ,  単分子層 ,  自己組織化
準シソーラス用語： 容量センサ ,  歪センサ ,  伸縮 ,  自己組織化単分子膜

分類 (3件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• S. Borini et al., ACS Nano 7, 11166 (2013).
• U. Mogera et al, Sci. Rep. 4, 4103 (2014).
• E. Itoh and A. Takada, Jpn. J. Appl. Phys. 55, 02BB10 (2016).
• E. Itoh and Z. Yuan, Jpn. J. Appl. Phys. 56, 05EC03 (2017).
• L. Cai et al., Scientific Reports, 3, 3048 (2013).

タイトルに関連する用語 (4件)： カーボンナノチューブ電極 ,  高性能化 ,  計測システム ,  開発