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J-GLOBAL ID：201802286187820525   整理番号：18A0575969

複雑な自由形状表面とその設計アルゴリズムを測定のための柔軟な点光源アレイを用いた干渉計【Powered by NICT】

Interferometry with flexible point source array for measuring complex freeform surface and its design algorithm

著者 (13件)： Li Jia (School of Electronic Engineering and Photo-electric Technology, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Li Jia (MIIT Key Laboratory of Advanced Solid Laser, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Shen Hua (School of Electronic Engineering and Photo-electric Technology, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Shen Hua (MIIT Key Laboratory of Advanced Solid Laser, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Zhu Rihong (School of Electronic Engineering and Photo-electric Technology, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Zhu Rihong (MIIT Key Laboratory of Advanced Solid Laser, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Gao Jinming (School of Electronic Engineering and Photo-electric Technology, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Gao Jinming (MIIT Key Laboratory of Advanced Solid Laser, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Sun Yue (School of Electronic Engineering and Photo-electric Technology, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Sun Yue (MIIT Key Laboratory of Advanced Solid Laser, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Wang Jinsong (School of Electronic Engineering and Photo-electric Technology, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Wang Jinsong (MIIT Key Laboratory of Advanced Solid Laser, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) ,  Li Bo (Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology, Nanjing 210042, China)
資料名： Optics Communications  (Optics Communications)
巻： 417  ページ： 67-75  発行年： 2018年 
JST資料番号： A0678B  ISSN： 0030-4018  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非球面および自由造形表面の測定の精度はその製造と応用を制限する主要な因子である。このような表面を測定するための一つの効果的な方法は角度変調をもつ参照またはプローブビームを使用する,傾斜波干渉計(TWI)である。TWI測定前に様々な片の最適点源アレイを得ることにより測定効率を改善する必要がある。試験の下において,種々の表面の勾配に基づいた点光源アレイを形成する目的のために,著者らは点光源アレイと試験表面との間の関係を記述する数学モデルを確立した。しかし,最適点源は不規則に分布している。試験表面の勾配に応じた柔軟な点光源アレイを達成するために,ファイバアレイを用いた新しい干渉装置は,各点源を独立にオンオフ制御できる提案した。二つの異なる表面のシミュレーションと実測例を本論文で与えた数学モデルを検証した。最後に,提案した干渉システムの有効性を証明した軸外し楕円体表面を試験する実験を行った。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *アルゴリズム ,  数学モデル ,  造型 ,  *点光源 ,  楕円体 ,  *干渉 ,  *干渉計 ,  オンオフ制御
準シソーラス用語： 非球面 ,  *自由形状 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 干渉測定 ,  表面測定 ,  数学的方法

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自由形状 ,  設計 ,  アルゴリズム ,  点光源 ,  アレイ ,  干渉計