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J-GLOBAL ID：201802286773432595   整理番号：18A1618742

安定化コロイド懸濁液を用いたゼオライトFAU薄膜の直接湿式堆積【JST・京大機械翻訳】

Direct wet deposition of zeolite FAU thin films using stabilized colloidal suspensions

著者 (7件)： Huang Pei-Sun (Department of Chemical Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan, ROC) ,  Su Chien-You (Department of Chemical Engineering, National Chung Cheng University, Chia-Yi 62102, Taiwan, ROC) ,  Lam Chon Hei (Department of Chemical Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan, ROC) ,  Lee Wen-Ya (Department of Chemical Engineering and Biotechnology, National Taipei University of Technology, Taipei 10608, Taiwan, ROC) ,  Wang Da-Ming (Department of Chemical Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan, ROC) ,  Hua Chi-Chung (Department of Chemical Engineering, National Chung Cheng University, Chia-Yi 62102, Taiwan, ROC) ,  Kang Dun-Yen (Department of Chemical Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan, ROC)
資料名： Microporous and Mesoporous Materials  (Microporous and Mesoporous Materials)
巻： 272  ページ： 286-295  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0642C  ISSN： 1387-1811  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シード成長はゼオライト薄膜と膜の調製に最も一般的なアプローチである。ここでは,安定化コロイド懸濁液を用いたゼオライトFAU薄膜の直接湿式堆積により,ゼオライトホージャサイト(FAU)薄膜を作製する簡単な方法を報告する。ゼオライトFAU懸濁液はpH値を調整することにより安定化され,懸濁液はシリコンウエハ基板上にスピンコートされ,密なゼオライトFAU薄膜を形成する。動的光散乱(DLS)を用いて,ゼオライトFAU懸濁液のコロイド特性を調べた。時間依存性流体力学半径Rhを,コロイド安定性の定量的尺度として使用するためのDLS測定から導出した。高いpH値はコロイド懸濁液を不安定化することが分かった。比較的安定なゼオライトFAU懸濁液を用いてキャストした薄膜試料は均一な形態の薄膜を生成した。高pH値の懸濁液から形成された薄膜において,ゼオライトFAU結晶は高密度相に変換した。種々の懸濁液からキャストした薄膜試料の相対誘電率(ε_r)も測定した。低周波数(<100kHz)で,ゼオライトFAU結晶を構成する薄膜は,非多孔質粒子を有するものより高いε_r値を示した。ゼオライトFAU薄膜の高ε_r値は水の物理吸着に起因すると考えられる。高周波数(1000kHz)では,水はε_r値に及ぼす影響がはるかに少なく,ゼオライトFAU構造を有する薄膜は低誘電率(低k)薄膜のε_r値特性を示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 流体力学的半径 ,  HF【周波数】 ,  *コロイド ,  誘電率 ,  動的光散乱 ,  物理吸着 ,  *懸濁液 ,  スピンコーティング ,  *薄膜 ,  結晶 ,  時間依存性
準シソーラス用語： 高密度 ,  不安定化 ,  コロイド安定性 ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ゼオライトFAU ,  ゼオライト薄膜 ,  湿式堆積 ,  コロイド懸濁液

分類 (1件)： 合成鉱物  (CD01040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 安定化 ,  コロイド ,  懸濁液 ,  ゼオライト ,  薄膜 ,  堆積