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J-GLOBAL ID：201802287030612974   整理番号：18A0476032

ジエチル亜鉛溶液を用いたスプレー熱分解により成長させたZnO薄膜の成長機構【Powered by NICT】

Growth Mechanism of ZnO Thin Films Grown by Spray Pyrolysis Using Diethylzinc Solution

著者 (17件)： Imai Masato (Department of Applied Physics and Electronics Engineering, Faculty of Engineering, University of Miyazaki, 1-1 Gakuen Kibanadai-nishi, Miyazaki 889-2192, Japan) ,  Imai Masato (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Watanabe Marin (Department of Applied Physics and Electronics Engineering, Faculty of Engineering, University of Miyazaki, 1-1 Gakuen Kibanadai-nishi, Miyazaki 889-2192, Japan) ,  Watanabe Marin (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Tominaga Himeka (Department of Applied Physics and Electronics Engineering, Faculty of Engineering, University of Miyazaki, 1-1 Gakuen Kibanadai-nishi, Miyazaki 889-2192, Japan) ,  Yoshino Kenji (Department of Applied Physics and Electronics Engineering, Faculty of Engineering, University of Miyazaki, 1-1 Gakuen Kibanadai-nishi, Miyazaki 889-2192, Japan) ,  Yoshino Kenji (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Ogomi Yuhei (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Ogomi Yuhei (Graduate School of Life Science and Systems Engineering Kyusyu Institute Technology, 2-4 Hibikino, Wakamatsu-ku, Kitakyushu, Fukuoka 808-0196, Japan) ,  Shen Qing (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Shen Qing (Department of Engineering Science Faculty of Informatics and Engineering The University of Electro-Communications, 1-5-1 Cho-fugaoka, Chofu, Tokyo 182-8585, Japan) ,  Toyoda Taro (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Toyoda Taro (Department of Engineering Science Faculty of Informatics and Engineering The University of Electro-Communications, 1-5-1 Cho-fugaoka, Chofu, Tokyo 182-8585, Japan) ,  Minemoto Takashi (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Minemoto Takashi (Department of Electrical and Electronic Engineering Ritsumeikan University, 1-1-1 Nojihigashi, Kusatsu, Shiga 525-8577, Japan) ,  Hayase Shuzi (CREST Japan Science and Technology Agency (JST), 4-1-8 Honcho, Kawaguchi, Saitama 332-0012, Japan) ,  Hayase Shuzi (Graduate School of Life Science and Systems Engineering Kyusyu Institute Technology, 2-4 Hibikino, Wakamatsu-ku, Kitakyushu, Fukuoka 808-0196, Japan)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 215  号： 4  ページ： ROMBUNNO.201700406  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非ドープZnO薄膜をジイソプロピルエーテルで希釈したジエチル亜鉛を用いたスプレー熱分解によりガラス上に堆積した。液滴衝突が観察され,膜の構造的な性質は堆積の温度依存性として調べた。液滴衝突の形状は堆積温度の上昇と共に平坦面に半球から変化した。右側で示されたように断面透過型電子顕微鏡の画像は,150°C試料のRT(室温)試料と柱状多結晶のための粒状非晶質を示した。ZnO薄膜の成長機構を液滴衝突の形状と堆積した膜の形態との関係を考慮して論じた。前駆体によって形成された結晶の存在はより低い温度で蒸着した膜で示唆された。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多結晶 ,  温度依存性 ,  非晶質 ,  形態 ,  画像 ,  前駆体 ,  ガラス ,  ドーピング ,  *酸化亜鉛
準シソーラス用語： 液滴衝突 ,  *成長メカニズム ,  *ZnOフィルム ,  *スプレー熱分解 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： II-VI半導体 ,  結晶成長 ,  多結晶材料 ,  噴霧熱分解 ,  ZnO

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (2件)： ジイソプロピルエーテル ,  ジエチル亜鉛

タイトルに関連する用語 (5件)： ジエチル亜鉛 ,  溶液 ,  スプレー熱分解 ,  成長 ,  ZnO薄膜