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J-GLOBAL ID：201802287462946510   整理番号：18A1044560

PTFE膜フィルタと低脈動ベローズポンプを用いた高温硫酸中の粒子還元【JST・京大機械翻訳】

Particle reduction in high temperature sulfuric acid using PTFE membrane filter and low pulsation bellows pump

著者 (6件)： Takakura Tomoyuki (Nihon Pall Ltd., 46 Kasuminosato, Ami-machi, Inashiki-gun, Ibaraki 300-0315 Japan) ,  Tokuno Katsuhiko (Nihon Pall Ltd., 46 Kasuminosato, Ami-machi, Inashiki-gun, Ibaraki 300-0315 Japan) ,  Tsuzuki Shuichi (Nihon Pall Ltd., 46 Kasuminosato, Ami-machi, Inashiki-gun, Ibaraki 300-0315 Japan) ,  Yamazaki Kenji (Nippon Pillar Packing co., Ltd., 66-3, Osadanochou 2-choume, Fukuchiyama, Kyoto 620-0853 Japan) ,  Tomotoshi Ai (Nippon Pillar Packing co., Ltd., 66-3, Osadanochou 2-choume, Fukuchiyama, Kyoto 620-0853 Japan) ,  Teshima Kazukiyo (Nippon Pillar Packing co., Ltd., 66-3, Osadanochou 2-choume, Fukuchiyama, Kyoto 620-0853 Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ASMC  ページ： 117-120  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体ウエハ洗浄プロセスに使用される化学物質中の粒子を低減するためには,ろ過技術により生成粒子を除去し,洗浄ツールの各部からの粒子発生を低減することが重要である。90°C硫酸に対する低脈動の新しく開発したベローズポンプを適用し,化学物質中の5nm定格PTFE膜フィルタのポンプの粒子レベル下流と粒子除去効率に及ぼす脈動の影響を評価した。従来のベローポンプと低脈動ポンプの間で圧力脈動挙動を比較し,低脈動ポンプが圧力変動のピーク値を効果的に低減することを確認した。さらに,ポンプの粒子レベル下流は,従来のポンプと比較して低脈動ポンプに対して劇的に減少した。一方,粒子チャレンジ試験の結果は,フィルタの粒子除去効率が使用したポンプに関係なく変化しないことを示した。結果として,低脈動ポンプを用いたときのフィルタの粒子レベル下流は,従来のポンプを用いた場合と比較して低くなった。結論として,低脈動ポンプと5nm定格PTFE膜フィルタは,90°C硫酸中の粒子を効果的に低減するための良好な組合せである。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 定格 ,  *高温 ,  化学物質 ,  *フィルタ ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  *硫酸 ,  ピーク値 ,  圧力変動 ,  *脈動
準シソーラス用語： 圧力脈動 ,  メンブレンフィルタ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 油圧・空気圧機器  (QD04020X) ,  ポンプ,各種揚水装置  (QD05030P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： PTFE膜 ,  脈動 ,  ベローズ ,  硫酸 ,  還元