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J-GLOBAL ID：201802287518316184   整理番号：18A1583073

受動MEMS圧力スイッチの設計と調製【JST・京大機械翻訳】

Design and fabrication of passive MEMS pressure switch

著者 (3件)： Liu Yifang (厦門大学航空航天学院,福建厦門,361005) ,  Chen Daner (厦門大学航空航天学院,福建厦門,361005) ,  Dai Tingting (厦門大学航空航天学院,福建厦門,361005)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 26  号： 5  ページ： 1133-1139  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 従来の機械式と電子式圧力スイッチの体積が大きく、製作プロセスが複雑であり、そして後続回路との統合ができないなどの欠点を克服するために、本論文では、金属リードステップカバー能力を有するガラススラリーパッケージ技術を用いて、受動MEMS圧力スイッチの設計と調製を行った。設計した受動MEMS圧力スイッチの全体構造方案は主にシリコンカバープレート上の圧力敏感膜、シリコンアイランド、上電極とマイクロバリアの凸台及びガラス基材上のガラススラリーと下電極を含む。圧力感受性膜,シリコンアイランド,および上下電極のキーサイズを,シミュレーションを通して最適化した。三段階湿式エッチングプロセスのプロセスを通して,二重障壁,シリコンアイランド,および感圧ダイヤフラムを得た。ガラススラリーのホットプレス技術により、シリコンカバー、ガラス基板と金属リードボンドを一体に合成し、プロセスの結果、ダブルバリアーの高さと感圧膜の厚さが8μmと50μmにうまく制御され、そしてテストにより、MEMS圧力スイッチの閾値圧力は125kPaであることが分かった。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 生産工程 ,  ダイヤフラム ,  スラリー ,  *MEMS ,  ガラス ,  感受性 ,  最適化 ,  ホットプレス ,  凸形 ,  ケイ素
準シソーラス用語： ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) pressure switch ,  structural design ,  wet etching ,  glass frit encapsulation technology

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学情報処理  (BD03060T)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  圧力スイッチ ,  設計 ,  調製