文献

J-GLOBAL ID：201802288477936752   整理番号：18A0163508

ヒト細胞と接触させたシリコンデバイスのためのマイクロシステムカプセル化の開発【Powered by NICT】

Development of micro-system encapsulation for silicon devices which are in contact with human cells

著者 (4件)： Souriau J.-C. (CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054, Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France) ,  Quiniou C. (CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054, Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France) ,  Castagne L. (CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054, Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France) ,  Simon G. (CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054, Univ. Grenoble Alpes, F-38000, Grenoble, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICSJ  ページ： 99-102  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CEA LETIは生物学的媒体における包装の分解を定量化するためにシリコン試験車両と方法を提案した。これら開発はヒト細胞と接触している可能性がある,医薬品デバイスに適している。,クリーンルーム内のウエハレベルで行い,カプセル化の異なる解を提示し,比較した。試験媒体であるマイクロエレクトロニクスで使用される一般的なAlSi,CuまたはWNパターンを含むシリコンウエハ上に作製したがnonbiocompatibleであることが知られている。SiO_2,Al_2O_3,TiO_2,PtとTiTiNのような薄層のバリア特性は,PBS(リン酸緩衝生理食塩水)溶液中で評価した。腐食は光学顕微鏡とSEMにより観察された。は本研究で示されたSiO_2/Al_2O_3/TiO_2とPtの多層膜は90°CでPBS中で90日間分解からAlSi線を保持していることであった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： マイクロエレクトロニクス ,  クリーンルーム ,  白金 ,  *ヒト ,  薄膜 ,  媒質 ,  多層膜 ,  リン酸 ,  *ケイ素 ,  光学顕微鏡
準シソーラス用語： 生理食塩水 ,  シリコンウエハ ,  *シリコンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  澱粉以外の多糖類  (FJ05040H) ,  粉体工学  (XD03010M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  環化反応,開環反応  (CF02050I)

タイトルに関連する用語 (6件)： ヒト ,  細胞 ,  シリコンデバイス ,  マイクロシステム ,  カプセル化 ,  開発