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J-GLOBAL ID：201802288780181510   整理番号：18A0138002

3次元MOSキャパシタベース電離放射線センサ【Powered by NICT】

3D MOS-capacitor-based ionizing radiation sensors

著者 (7件)： Xuan Yi (School of Electrical and Computer Engineering, Birck Nanotechnology Center, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA) ,  Mousoulis Charilaos (School of Electrical and Computer Engineering, Birck Nanotechnology Center, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA) ,  Kumar Anurag (School of Electrical and Computer Engineering, Birck Nanotechnology Center, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA) ,  Elmiger Christian I. (School of Electrical and Computer Engineering, Birck Nanotechnology Center, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA) ,  Scott Sean (Landauer, Inc. Glenwood, IL 60425, USA) ,  Valentino Daniel J. (Landauer, Inc. Glenwood, IL 60425, USA) ,  Peroulis Dimitrios (School of Electrical and Computer Engineering, Birck Nanotechnology Center, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICSENS  ページ： 1-3  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,職業線量測定応用のための高感度と広い用量運転の最初の3D Si MOSキャパシタベース放射線(ガンマ線)センサを提示した。静電容量は全放射線量と共にほぼ直線的に変化した。異方性湿式エッチングによるSi表面の3D構造により,表面積は2D平坦面と比較して4倍増加した。,放射線感度は3倍以上に増加しており,それはMOSキャパシタ型放射センサのための以前に報告された感度よりも有意に良好であった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 放射線量 ,  静電容量 ,  *センサ ,  *放射線 ,  異方性 ,  高感度 ,  ケイ素 ,  放射線感受性 ,  ウェットエッチング ,  *電離放射線 ,  線量測定 ,  *三次元 ,  二次元 ,  γ線
準シソーラス用語： *MOSコンデンサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 3次元 ,  MOSキャパシタ ,  電離放射線