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J-GLOBAL ID：201802289245199246   整理番号：18A0484533

TiとTi-6Al-4Vターゲットから蒸着したTiSiCNとTiAlVSiCNナノ複合材料被覆【Powered by NICT】

TiSiCN and TiAlVSiCN nanocomposite coatings deposited from Ti and Ti-6Al-4V targets

著者 (7件)： Lin Jianliang (Southwest Research Institute, San Antonio, TX 78238, United States) ,  Wei Ronghua (Southwest Research Institute, San Antonio, TX 78238, United States) ,  Ge Fangfang (CAS Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Li Yuge (Surface Engineering Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Zhang Xuhai (Jiangsu Key Laboratory of Advanced Metallic Materials, School of Materials Science and Engineering, Southeast University, Nanjing 211189, China) ,  Huang Feng (CAS Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, China) ,  Lei Mingkai (Surface Engineering Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 336  ページ： 106-116  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiSiCNおよびTiAlVSiCNコーティングは純Tiターゲットと市販グレードのTi-6Al-4Vターゲットのパルスdcマグネトロンスパッタリングにより堆積した,それぞれ,Ar+N_2+トリメチルシラン(TMS)の混合物であった。コーティングの元素組成を0から4sccmにTMSの流速(f_TMS)を増加させることにより変化させた。研究の主目的は,Ti基ナノ構造被覆層を堆積するためのTiのスパッタリング源として低価格な工業グレードのTi-6Al-4V材料を使用する可能性を探ることにある。被覆の微細構造をX線回折,X線光電子分光法(XPS),および透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて特性化した。被覆の機械的性質,摺動摩耗とエロージョン抵抗をナノインデンテーション,乾燥ボール・オン・ディスク試験,固体粒子エロージョンを用いて分析した。より高い堆積速度(35 59%増加)は同様な堆積条件下でドーピングしたTiSiCN被膜のそれよりもTiAlVSiCN皮膜で測定された。f_TMSが増加すると,両方の被覆システムは,微細な柱状結晶粒構造から類似の組織変化を示すナノ複合材料構造へ,そして最終的に非晶質構造であった。Ti-6Al-4VターゲットからTiAlVSiCN被覆直接へのAlとVの少量の添加により,めっき皮膜の機械的性質,耐摩耗性,および耐エロージョン性を改善するのに有益である。研究は,より高い蒸着率,改善された特性と低い生産コストを達成するためにTi基ナノ構造被覆層を堆積するためのTiのスパッタリング源として市販グレードのTi-6Al-4V材料を使うのが実際的であることを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  *ナノ複合材料 ,  ナノ構造 ,  *アルミニウム ,  *チタン ,  *蒸着 ,  X線回折 ,  透過型電子顕微鏡 ,  マグネトロンスパッタリング ,  滑り摩耗 ,  *被覆 ,  微細構造 ,  被覆層 ,  耐摩耗性
準シソーラス用語： エロージョン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (8件)： Ti-6Al-4V ,  TiSiCN ,  TiAlVSiCN ,  ナノ複合材料被覆 ,  トリメチルシラン ,  パルスdcマグネトロンスパッタリング ,  耐摩耗性 ,  固体粒子エロージョン

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： Ti ,  ターゲット ,  蒸着 ,  ナノ複合材料