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J-GLOBAL ID：201802289660376992   整理番号：18A0672133

真空紫外バンドAl膜保護層MgF2の光学定数【JST・京大機械翻訳】

Optical constant of MgF2 coatings for Al/MgF2 mirror in vacuum ultraviolet region

著者 (5件)： Wang Fengli (同済大学教育部先進微結構材料重点実験室,上海200092;同済大学物理科学与工程学院 ,上海200092) ,  Zhang Zhuangzhuang (同済大学教育部先進微結構材料重点実験室,上海200092;同済大学物理科学与工程学院 ,上海200092) ,  Wang Zhanshan (同済大学教育部先進微結構材料重点実験室,上海200092;同済大学物理科学与工程学院 ,上海200092) ,  Zhou Hongjun (中国科学技術大学国家同歩輻射実験室 ,安徽合肥,230029) ,  Huo Tonglin (中国科学技術大学国家同歩輻射実験室 ,安徽合肥,230029)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 25  号： 11  ページ： 2823-2828  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： Al膜の保護層MgF2薄膜の光学定数はAl/MgF2高反射鏡の性能に対して極めて大きい影響があるため、本論文ではMgF2薄膜の光学定数を得る方法を研究した。3つの異なるMgF2厚さを有するAl/MgF2反射鏡サンプルを,室温でのB270基板上に蒸着し,すれすれ入射X線小角反射法によって特性化し,膜厚さと粗さを得た。5°の入射角において,105~130nmの波長範囲での反射率を測定するために,国家シンクロトロン放射実験センターにおける測定ステーションを用いて,実験を行った。Al,MgF2層の厚さとAlの光学定数が既知の条件下で,Fresnel式により,ある波長におけるサンプルの反射率を満たす等値線を得,次に,三つの曲線の交点から,108~128nmの周波数帯における光学定数を得た。比較と分析は,以下を示した。この方法を用いて得られた108~128 nmバンドMgF2薄膜の光学定数の計算した反射率曲線と実際のテストで得られた反射率曲線はよく一致した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜 ,  膜厚 ,  キャラクタリゼーション ,  反射鏡 ,  反射率 ,  周波数帯 ,  すれすれ入射 ,  シンクロトロン放射 ,  X線 ,  入射角 ,  *アルミニウム ,  *光学定数 ,  波長
準シソーラス用語： 波長領域 ,  *保護層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： vacuum ultraviolet ,  mirror ,  protective layer ,  optical constant ,  Fresnel formulas ,  thermal evaporation

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： バンド ,  Al膜 ,  保護層 ,  MgF2 ,  光学定数