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J-GLOBAL ID：201802289965970254   整理番号：18A0189145

マイクロメカニカルジャイロスコープの弾性梁の最適設計【Powered by NICT】

Optimized design of the micromechanical gyroscope’s elastic beam

著者 (4件)： Zhang ChenQing (Tianjin Key Laboratory for Advanced Mechatronic System Design and Intelligent Control, School of Mechanical Engineering) ,  Hao ShuYing (Tianjin Key Laboratory for Advanced Mechatronic System Design and Intelligent Control, School of Mechanical Engineering) ,  Li HuiJie (Tianjin Key Laboratory for Advanced Mechatronic System Design and Intelligent Control, School of Mechanical Engineering) ,  Zhang QiChang (Tianjin Key Laboratory of Nonlinear Dynamics, Tianjin University of Technology, Tianjin 300384, China and Control, Tianjin 300072, Tianjin China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICICM  ページ： 163-167  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロメカニカルジャイロスコープ直線弾性梁の処理プロセスのより大きな残留応力を持つであろう。マイクロメカニカルジャイロスコープの性能に影響する。剛性等価原理によると,マイクロメカニカルジャイロスコープの元の弾性梁を理論的解析と有限要素計算の組合せによる製U形ばりと感覚としてcarb脚ビームとして駆動のビームに改善された。ANSYS計算結果と比較して,駆動ビームの剛性誤差と感度は比較的小さく,微細加工ジャイロスコープの固有振動数誤差も合理的な範囲内で干渉モードは作動モードと駆動の周波数とは異なるとは非常に良く一致した。改良された微小電気機械システムジャイロスコープは周波数マッチングと干渉モード分離の必要条件を満たす。改良された設計法は,MEMSジャイロスコープの改善と最適化のための理論的指針を提供する。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 最適化 ,  マッチング ,  MEMS ,  *最適設計 ,  干渉 ,  剛性 ,  運転モード ,  固有振動数 ,  必要条件 ,  微細加工 ,  周波数 ,  *ジャイロスコープ ,  残留応力
準シソーラス用語： ANSYS ,  *弾性梁 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 弾性梁 ,  最適設計