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J-GLOBAL ID：201802290178240128   整理番号：18A0858127

大気圧燃焼化学蒸着プロセスの適用による金属酸化物薄膜堆積のためのコバルトとマンガンのカルボン酸塩【JST・京大機械翻訳】

Cobalt and manganese carboxylates for metal oxide thin film deposition by applying the atmospheric pressure combustion chemical vapour deposition process

著者 (9件)： Kretzschmar B. S. M. (Innovent e.V., Pruessingstrasse 27B, 07745 Jena, Germany. [e-mail]) ,  Assim K. ,  Preuss A. ,  Heft A. ,  Korb M. ,  Puegner M. ,  Lampke T. ,  Gruenler B. ,  Lang H.
資料名： RSC Advances (Web)  (RSC Advances (Web))
巻： 8  号： 28  ページ： 15632-15640  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7055A  ISSN： 2046-2069  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 配位錯体[M(O_2CCH_2OC_2H_4OMe)_2](M=Co,4;M=Mn,5)は,対応する金属酢酸塩[M(OAc)_2(H_2O)_4](M=Co,1;M=Mn,2)とカルボン酸HO_2CCH_2O_2H_4OMe(3)の間の陰イオン交換反応によりアクセス可能である。IR分光法により,カルボキシル配位子のM(II)へのキレート化またはμ架橋結合様式を確認した。固体状態における5の分子構造は,Mn(II)における歪んだ八面体配列,それらのα-エーテル酸素原子を含む2つのカルボキシラト配位子によるセットアップを確認し,全体的な二次元配位ネットワークをもたらした。4および5の熱分解挙動をTG-MSによって研究し,脱炭酸が最初に[M(CH_2OC_2H_4OMe)_2]を与えることを明らかにし,それはさらにM-C,C-OおよびC-C結合開裂によって分解した。錯体4と5を,ケイ素とガラス基板上へのCo_3O_4,結晶性Mn_3O_4,および非晶質Mn_2O_3薄膜の蒸着のためのCCVD(燃焼化学蒸着)前駆体として用いた。400°Cで3種類の前駆体溶液(0.4,0.6及び0.8M)を用いて堆積実験を行った。前駆体濃度に依存して,SEMで証明されたように,粒子層が得られた。層厚は32~170nmであった。それぞれの膜のrms粗さをAFMにより決定し,前駆体濃度が高いほど,Co_3O_4表面は(17.4~43.8nm),酸化マンガン膜はほぼ類似(6.2~9.8nm)であることを示した。Copyright 2018 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *カルボン酸塩 ,  熱分解 ,  前駆体 ,  開裂反応 ,  陰イオン交換 ,  ケイ素 ,  酸化マンガン ,  *コバルト ,  赤外分光法 ,  *化学蒸着 ,  結晶度 ,  錯体 ,  *マンガン ,  *薄膜 ,  分子構造

分類 (4件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U) ,  鉄族元素の錯体の結晶構造  (BK09040I) ,  コバルトとニッケルの錯体  (CE01092Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大気圧 ,  燃焼 ,  化学蒸着プロセス ,  金属酸化物薄膜 ,  堆積 ,  コバルト ,  マンガン ,  カルボン酸塩