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J-GLOBAL ID:201802290239466108   整理番号:18A0218927

誘導結合プラズマイオン源ガス温度特性の数値シミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Numerical Analysis of Gas Temperature in Inductively Coupled Plasma Ion Source
著者 (8件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: 521-525  発行年: 2017年 
JST資料番号: C2754A  ISSN: 1004-2997  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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流れ場を主に結合する電磁場の計算流体力学方法を用いてICPイオン源の温度特性を分析し、そして、サンプルを注入した前後の温度特性の変化を比較した。サンプリング円錐と管は,相対的に閉じた空間を構成するので,試料採取の後の大部分の区域の温度は,より高かった。サンプリング円錐付近のプラズマチャネルの効果は明らかで、中心チャネル温度は25mm付近から急激に8000Kまで上昇し、サンプリング円錐の前1mm前後に急激に6000K前後に下がった。Discrete Phase Model (DPM)モデルを用いて、異なる直径のエアロゾル粒子が中心チャンネルのガス温度に与える影響を分析し、粒子径が大きくなると、中心チャンネルのガス温度の安定性に影響を与えるが、直径が数ミクロンのエアロゾル粒子の電離効率が高いことが分かった。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
著者キーワード (4件):
分類 (2件):
分類
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プラズマ流,プラズマの電磁流体力学  ,  燃焼一般 
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タイトルに関連する用語
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