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J-GLOBAL ID：201802290410907842   整理番号：18A0972406

光起電力織物のための高圧化学蒸着による非晶質シリコンとゲルマニウムの共形コーティング【JST・京大機械翻訳】

Conformal coating of amorphous silicon and germanium by high pressure chemical vapor deposition for photovoltaic fabrics

著者 (9件)： Ji Xiaoyu (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Cheng Hiu Yan (Materials Research Institute, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Grede Alex J. (Department of Electrical Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Molina Alex (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Talreja Disha (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Mohney Suzanne E. (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Giebink Noel C. (Department of Electrical Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Badding John V. (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA) ,  Gopalan Venkatraman (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802, USA)
資料名： APL Materials (Web)  (APL Materials (Web))
巻： 6  号： 4  ページ： 046105-046105-8  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7122A  ISSN： 2166-532X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高品質半導体を有する高表面積基板は,整合的に被覆された組織化されている。ここでは,高圧化学蒸着プロセスを用いて,電子的または光電子的に活性な材料を用いて,いくつかのタイプの柔軟な織物(綿,炭素,鋼)の個々の繊維を適合的に被覆することができることを示した。高圧(~30MPa)は低温での堆積速度を著しく増加させた。結果として,プラズマ,光化学,熱線,または他の型の活性化を用いることなく,簡単で非常に実用的な熱分解プロセスにより,シランから技術的に重要な水素化非晶質シリコン(a-Si:H)を堆積することが可能になった。マイクロスケール反応器における気相反応を閉じ込めることにより,望ましくない粒子の形成が織物構造中の個々のワイヤ間のマイクロスケール空間内で抑制されることを示した。このような共形被覆法は,太陽織物として機能するステンレス鋼織物上の水素化アモルファスシリコンベースのSchottky接合素子の直接作製を可能にする。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アモルファスシリコン ,  気相反応 ,  プラズマ ,  反応器 ,  水素化 ,  *ゲルマニウム ,  *被覆 ,  シラン ,  *光起電力 ,  表面積 ,  ステンレス鋼 ,  *化学蒸着 ,  *高圧 ,  堆積速度
準シソーラス用語： マイクロスケール , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光起電力 ,  織物 ,  高圧化学 ,  蒸着 ,  非晶質シリコン ,  ゲルマニウム ,  形 ,  コーティング