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J-GLOBAL ID：201802290879754701   整理番号：18A1722720

二段階プラズマ活性化低温直接結合法により形成したガラス-オン-LiNbO_3ヘテロ構造【JST・京大機械翻訳】

Glass-on-LiNbO₃ heterostructure formed via a two-step plasma activated low-temperature direct bonding method

著者 (6件)： Xu Jikai (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China) ,  Wang Chenxi (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China) ,  Tian Yanhong (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China) ,  Wu Bin (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China) ,  Wang Shang (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China) ,  Zhang He (State Key Laboratory of Advanced Welding and Joining, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 459  ページ： 621-629  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ニオブ酸リチウム(LiNbO_3)結晶は,光学素子と音響素子の集積に広く用いられている。しかしながら,Si基材料へのLiNbO_3の直接結合は,熱膨張不整合の大きな係数により,依然として挑戦的である。本論文では,最適化したO_2プラズマ活性化とそれに続くN_2プラズマ処理により,LiNbO_3/ガラス対の強い結合強度を得た。予備接合を室温で行った後に,結合対を150°Cで12時間アニールした。走査型電子顕微鏡と透過型電子顕微鏡により,欠陥のない強固な結合界面を確認した。原子間力顕微鏡,水接触角およびX線光電子分光法キャラクタリゼーションに基づいて,LiNbO_3およびガラス表面の両方が,OHおよびN関連基の密度の増加により,より滑らかになり,より親水性になった。さらに,異なるプラズマ活性化プロセスによって得られた結合強度と組み合わせて,強化された結合強度の機構は接合界面を横切って形成されたN関連共有結合に起因することを示した。さらに,LiNbO_3/ガラス結合対の優れた光透過率は,この容易な結合プロセスが高性能ガラス-オン-LiNbO_3デバイスの要求を満たすことができることを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ガラス ,  最適化 ,  界面 ,  プラズマ処理 ,  *低温 ,  ロバスト性 ,  キャラクタリゼーション ,  結晶 ,  付着強さ ,  ケイ素 ,  接合 ,  不整合 ,  電子顕微鏡観察 ,  *プラズマ ,  X線光電子スペクトル ,  焼なまし
準シソーラス用語： *ヘテロ構造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： LiNbO_3ガラス ,  直接ボンディング ,  表面 ,  界面 ,  プラズマ活性化

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 段階 ,  プラズマ ,  活性化 ,  低温 ,  ガラス ,  ヘテロ構造