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J-GLOBAL ID：201802290982099260   整理番号：18A0440955

2次スライディングモードと反復学習制御の統合によるCzochralskiプロセスの適応非線形制御【Powered by NICT】

Adaptive nonlinear control of the czochralski process via integration of second order sliding mode and iterative learning control

著者 (4件)： Bukhari Halima Zahra (Engineering Cybernetics Department, NTNU, Trondheim, Norway) ,  Aftab Muhammad Faisal (Engineering Cybernetics Department, NTNU, Trondheim, Norway) ,  Winkler Jan (Institut fuer Regelungs- und Steuerungstheorie, Techniche Universitaet, D-01062 Dresden, Germany) ,  Hovd Morten (Engineering Cybernetics Department, NTNU, Trondheim, Norway)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ASCC  ページ： 2732-2737  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： は主にCzochralski(CZ)プロセスにおける直径制御に焦点を当てた界面動力学の制御のための反復学習制御(ILC)スキームと組み合わせた非線形二近似解スライディングモード(SOSM)を利用している。スライディングモード制御(SMC)または可変構造制御(VSC)は有界な流れと非構造パラメータ不確定性をもつシステムに適している。SOSMは未知システム動力学にもかかわらず制御におけるロバスト性を達成するために採用した。一方,反復学習制御は,未知パラメータと有界外乱の存在下でも繰返し動作にうまく適応する設計されたコントローラのインテリジェントモジュールとして組み込んだ。CZは,新しい結晶インゴットが産生されるそれ自身を繰り返すことをバッチプロセスであるため,再現性は設計されたコントローラに学習可能性を与えた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *制御装置 ,  ロバスト性 ,  スライディングモード制御 ,  界面 ,  インゴット ,  再現性 ,  バッチ処理
準シソーラス用語： 学習可能性 ,  パラメータ不確実性 ,  有界 ,  可変構造制御 ,  近似解 ,  *非線形制御 ,  *反復学習制御 ,  *スライディングモード , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： システム設計・解析  (IA02030D)

タイトルに関連する用語 (6件)： スライディングモード ,  反復学習制御 ,  統合 ,  プロセス ,  適応 ,  非線形制御