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J-GLOBAL ID：201802291062270475   整理番号：18A0209438

銅薄膜の機械的性質に及ぼす微細孔の影響と亀裂挙動を研究した。【JST・京大機械翻訳】

The mechanical properties and cracking behavior of copper film containing micro pores

著者 (5件)： Jiang Wenquan (遼寧石油化工大学 机械工程学院,遼寧 撫順113001;東北大学 机械工程及自動化学院,遼寧 沈陽110819) ,  Zan Jingyi (遼寧石油化工大学 机械工程学院,遼寧 撫順,113001) ,  Yang Fan (遼寧石油化工大学 机械工程学院,遼寧 撫順,113001) ,  Du Guangyu (東北大学 机械工程及自動化学院,遼寧 沈陽,110819) ,  Ba Dechun (東北大学 机械工程及自動化学院,遼寧 沈陽,110819)
資料名： Dianzi Xianwei Xuebao  (Dianzi Xianwei Xuebao)
巻： 36  号： 5  ページ： 436-441  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1469A  ISSN： 1000-6281  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 機械的性質に及ぼす銅薄膜の微細孔の影響と亀裂挙動を研究し,マグネトロンスパッタリングによりポリイミド基板上に銅薄膜を調製し,走査型電子顕微鏡(SEM)により表面形態を特性化し,EDSエネルギースペクトルとSEMによりその場観察を行った。マグネトロンスパッタリングプロセスによって調製された超薄銅薄膜は,柱状結晶構造を持ち,そして,ミクロンサイズの空洞を持つことが分かった。異なる多孔性の銅薄膜の荷重と変位の増分の変化を測定し、相関式により応力-ひずみ関係を求めた。異なる孔径の微小孔の上下縁の結晶粒界亀裂,微小亀裂の発生,拡大の挙動を分析した。結果は以下を示した。マグネトロンスパッタリングプロセスによって調製されたマイクロメータサイズの銅薄膜は,延伸の際に微小亀裂を形成し,微小孔は4μmの微小孔に沿って低く,微小亀裂は粒界に沿って変化し,微小亀裂は抑制された。より高い局部応力の下では,細孔径>10μmの微小亀裂は,新しい粒界方向に沿って広がり,他の微小亀裂と連結した。気孔率が高いほど,多孔性微小亀裂の連結性が高くなると,膜の機械的性質は悪くなり,銅薄膜の亀裂の可能性も高くなる。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多孔性 ,  キャラクタリゼーション ,  その場観察 ,  *機械的性質 ,  細孔径 ,  走査電子顕微鏡 ,  *亀裂 ,  空隙率 ,  結晶粒界 ,  微小亀裂 ,  マグネトロンスパッタリング ,  ポリイミド ,  柱状晶
準シソーラス用語： 表面形態 ,  *銅薄膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： flexible substrate ,  copper film ,  micro hole ,  mechanical properties ,  inter-granular cracking

分類 (4件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  機械的性質  (WB02030U) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  金属材料  (HC05020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 銅薄膜 ,  機械的性質 ,  微細孔 ,  亀裂 ,  挙動 ,  研究