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J-GLOBAL ID：201802291413856463   整理番号：18A2143149

超音波センサ 周波数変化型加速度センサの電気的等価回路考察

著者 (2件)： 佐々木慶文 (石巻専修大 理工) ,  菅原澄夫
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 30  号： 6  ページ： 73-76  発行年： 2018年12月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・圧電的に駆動された周波数変化型の一軸加速度センサモデルに対する電気的等価回路表示を行うと共に,有限要素法により回路定数とその加速度依存性を明らかにし,実験的に検証した結果について紹介。
・横振動子,質量,支持棒およびフレームで構成される加速度センサ,MEMS化するとという観点から決定された横振動子の形状と振動モードについて記述。
・これらの有限要素法による解析結果は,試作センサによる実測結果ともよく一致し,その妥当性が検証されることを確認。
・軸力による周波数変化を利用した加速度センサの等価回路定数の加速度依存性が初めて明らかにされ,加速度が印加された状態でのセンサデバイスの特性の回路的取り扱いが可能なことが判明。

シソーラス用語： *速度センサ ,  有限要素法 ,  等価回路 ,  回路定数 ,  加速度依存性 ,  共振周波数 ,  振動モード ,  振動解析 ,  圧電体 ,  MEMS
準シソーラス用語： 横振動子 ,  *加速度センサ ,  *超音波センサ ,  周波数変化型

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 音波センサ ,  周波数変化 ,  加速度センサ ,  等価回路