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J-GLOBAL ID：201802292107390624   整理番号：18A1437085

TiN薄膜の残留応力制御及び機械的性質研究【JST・京大機械翻訳】

Study on Residual Stress Modulation and Mechanical Properties of Titanium Nitride Coatings

著者 (4件)： Qiu Longshi (西安交通大学金属材料強度国家重点実験室 西安 710049) ,  Qiao Guanlin (西安交通大学金属材料強度国家重点実験室 西安 710049) ,  Ma Fei (西安交通大学金属材料強度国家重点実験室 西安 710049) ,  Xu Kewei (西安交通大学金属材料強度国家重点実験室 西安 710049;西安文理学院机械与材料工程学院 西安 710065)
資料名： Jixie Gongcheng Xuebao  (Jixie Gongcheng Xuebao)
巻： 53  号： 24  ページ： 42-48  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0292A  ISSN： 0577-6686  CODEN： CHHKA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 残留応力は物理蒸着(Physicalvapordeposition,PVD)の硬質薄膜の厚さを制限する重要な因子である。厚さが3.7μmから15.5μmのTiN薄膜を,高速度鋼基板上にマルチアークイオンプレーティング技術によって調製した。曲率法と有限要素法(FEM)を用いて,残留応力と結合性能の変化則を調べた。その結果,膜の平均残留応力は,膜厚の増加とともに,増加した。膜層内の残留応力の全体レベルは界面せん断応力の大きさを決定し、薄膜の結合性能は界面せん断応力の増加に伴い低下する。膜の内部の残留応力は,基板バイアスの増加と作動ガス圧の減少によって増加した。残留応力が高い場合、TiN薄膜は微細で、緻密な柱状結晶構造を持ち、(111)優先配向を呈し、薄膜の硬度と破壊靭性が高く、耐摩耗性が良好である。研究結果により、残留応力の調節により、硬質薄膜の力学特性を高めることができる。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *薄膜 ,  硬度 ,  剪断応力 ,  界面 ,  曲率 ,  高速度鋼 ,  柱状晶 ,  膜厚 ,  耐摩耗性 ,  *残留応力 ,  有限要素法 ,  優先配向 ,  破壊靱性 ,  物理蒸着
準シソーラス用語： 基板バイアス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： TiN coatings ,  curvature method ,  residual stress ,  adhesion strength ,  mechanical property

分類 (2件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J) ,  薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (4件)： TiN薄膜 ,  残留 ,  機械的性質 ,  研究