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J-GLOBAL ID：201802292950538629   整理番号：18A0401955

液体環境における圧電曲げマイクロプレート共振器における散逸の低減【Powered by NICT】

Reducing dissipation in piezoelectric flexural microplate resonators in liquid environments

著者 (4件)： Weckman Nicole E. (Nanoscience Centre, University of Cambridge, 11 JJ Thomson Avenue, Cambridge CB3 0FF, UK) ,  Weckman Nicole E. (Department of Engineering, University of Cambridge, Trumpington Street, Cambridge CB2 1PZ, UK) ,  Seshia Ashwin A. (Nanoscience Centre, University of Cambridge, 11 JJ Thomson Avenue, Cambridge CB3 0FF, UK) ,  Seshia Ashwin A. (Department of Engineering, University of Cambridge, Trumpington Street, Cambridge CB2 1PZ, UK)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 267  ページ： 464-473  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電マイクロプレートは有望なMEMS液体センシングプラットフォームとして出現しているが,しばしば音響放射損失がデバイス性能を制限する。本論文では,基本モードのための伝統的な解析モデルを用いてマイクロプレート音響放射損失の新しい解析と,基本及び高次曲げモードの両方のためのQに影響を及ぼす傾向を解析するのに使用される新しい有限要素モデルを提示した。空気と真空と比較して,これらのモデルからの結果は,水中のマイクロプレートの多重モードの電気特性評価とレーザDoppler振動計の両方を用いて測定した周波数とQの実験測定と比較した。最後に,空気中で約150の高い初期Qと空気水からQの増加を示すとマイクロプレートモードは液滴ベースセンシング応用の利用のための強力な候補として提示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多モード ,  液滴 ,  電気特性 ,  *圧電気 ,  音波放射 ,  MEMS ,  *共振器 ,  周波数 ,  基準モード ,  解析モデル
準シソーラス用語： レーザDoppler振動計 ,  FEMモデル ,  曲げモード ,  *マイクロプレート , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： マイクロプレート共振器 ,  圧電 ,  MEMS ,  品質因子 ,  音響放射 ,  液体センシング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 環境 ,  圧電 ,  曲げ ,  マイクロプレート ,  共振器 ,  散逸