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J-GLOBAL ID:201802295334723298   整理番号:18A0849801

多層マイクロ流体構造の迅速組立【JST・京大機械翻訳】

Rapid assembly of multilayer microfluidic structures
著者 (9件):
資料名:
巻: 2018  号: MEMS  ページ: 1241-1244  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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2側面PDMSデバイスの高速3D印刷成形と組立を実証した。本研究では,単一側面マイクロフルイディクスから多層マイクロ流体製造への3Dプリント転写成形技術の進歩により,PDMS層に組み込まれた配列構造を持つ相補型鋳型を作製するための3D印刷の容易さを利用し,最後にそれらを組み立てた。この一段階両面成形法を用いて,標準ソフトリソグラフィーを用いて達成することが困難または不可能なビア,内蔵アラインメントマーク,および膜弁を含むPDMSにおける複雑な形状の成形を実証した。膜弁は,独特のトランジスタ特性曲線と200kPaの閉鎖圧力を示した。新しいスタンプ結合法を用いて,液体PDMS接着剤を選択的に適用し,多層PDMSマイクロ流体デバイスを組み立てる信頼できる方法を実証した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
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