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J-GLOBAL ID：201802295893907818   整理番号：18A1167557

過飽和Cu-Mo合金膜のミクロ構造に及ぼす焼鈍処理の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

著者 (5件)： He Mengjie (河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛陽,471023) ,  Li Yaxing (河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛陽,471023) ,  Zhao Delong (河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛陽,471023) ,  Sun Haoliang (河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛陽,471023) ,  Wang Guangxin (河南科技大学材料科学与工程学院,河南洛陽,471023)
資料名： Henan Keji Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban)  (Henan Keji Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban))
巻： 39  号： 2  ページ： 1-5  発行年： 2018年 
JST資料番号： C3217A  ISSN： 1672-6871  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： Cu-Mo合金膜を,マグネトロンスパッタリングによって,フレキシブルポリイミド(PI)基板上に蒸着し,そして,サンプルを,真空アニーリングによって処理した。X線,電界放射型走査電子顕微鏡,エネルギー分散X線分光法(EDS)により,合金膜と純Cu膜の組成,相構造,表面形態を調べた。その結果,焼鈍後,合金膜の微細構造は明らかに変化した。アニーリング後,Cu-21.3%Mo合金膜の表面に,多くの多面体Cu粒子が形成し,そして,粒径は,数十ナノメートルから数百ナノメートルであり,そして,焼鈍温度とともに,徐々に増加した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *過飽和 ,  X線 ,  粒径 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *銅 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  微細構造 ,  *合金 ,  *焼なまし
準シソーラス用語： アニーリング温度 ,  表面形態 ,  相構造 ,  電界放出型走査電子顕微鏡 ,  *ミクロ構造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 過飽和 ,  ミクロ構造 ,  焼鈍処理 ,  研究