シンクロトロンとFELビームラインのための格子H elmholtz Zentrumベルリンにおける精密格子製造のためのプロジェクト【Powered by NICT】

Siewert F.; Lochel B.; Buchheim J.; Eggenstein F.; Firsov A.; Gwalt G.; Kutz O.; Lemke St.; Nelles B.; Rudolph I.; Schaefers F.; Seliger T.; Senf F.; Sokolov A.; Waberski Ch.; Wolf J.; Zeschke T.; Zizak I.; Follath R.; Follath R.; Arnold T.; Frost F.; Pietag F.; Erko A.

文献

J-GLOBAL ID：201802299025549639 整理番号：18A0149956

シンクロトロンとFELビームラインのための格子H elmholtz Zentrumベルリンにおける精密格子製造のためのプロジェクト【Powered by NICT】

Gratings for synchrotron and FEL beamlines: a project for the manufacture of ultra-precise gratings at Helmholtz Zentrum Berlin

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資料名：
巻： 25 号： 1 ページ： 91-99 発行年： 2018年
JST資料番号： W0763A ISSN： 0909-0495 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高光子束は,例えば,共鳴非弾性X線散乱実験では,層流格子の使用は高すぎるフラックス密度と期待される損傷に起因する排除されるときのような,例えば自由電子レーザビームラインで必要な場合ブレーズド格子を,シンクロトロン放射の単色化のための専用興味を持たれている。格子の廃止措置はオーバーコッヘンにおけるカールツァイスの設備を製造からそれらの利用可能性が,ボトルネックとなっている。この状況を解決するために新しい技術研究所は,Helmholtz Zentrum Berlin,Carl Zeissから計装で確立した。改良ZEISS装置のほか,先進的な格子生産ラインを開発し,新しい超精密刻線機,イオンエッチング技術としてのレーザ干渉リソグラフィーを含めている。高齢ZEISS刻線機GTM6は170mmにまで格子長のための判決を可能にするが,新しいGTM24は50mm~ 1と1200段階mm~ 1間の溝密度600mm(24インチ)格子のための能力を持つことになる。走査型ラジオ周波数励起イオンビーム(HF)源を用いた新しいイオンエッチング装置は,500mmまでの長さの基板にエッチングする格子を可能にした。最終波長キャラクタリゼーションのために,BESSY-IIストレージリングでの新しい光学ビームラインでの新しい反射率計が稼働している。回折格子の作製,ex situとin situ計測により作製した項目の測定した品質,及び今後の開発目標の現状について報告した。Copyright 2018 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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著者キーワード (4件)： , , ,

電磁場中の粒子の運動及び放射 , X線技術 , 図形・画像処理一般

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