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J-GLOBAL ID：201802299335901152   整理番号：18A1044552

ピコ秒超音波:先進RFフィルタ用単結晶圧電材料の特性評価【JST・京大機械翻訳】

Picosecond ultrasonics: Characterization of single crystal piezoelectric materials for advanced RF filters

著者 (8件)： Hayden C. (Akoustis Technologies, Inc., 9805-A Northcross Center Ct. Huntersville, NC 28078) ,  Kwon J. B. (Akoustis Technologies, Inc., 9805-A Northcross Center Ct. Huntersville, NC 28078) ,  Kim D. (Akoustis Technologies, Inc., 9805-A Northcross Center Ct. Huntersville, NC 28078) ,  Gibb S. (Akoustis Technologies, Inc., 9805-A Northcross Center Ct. Huntersville, NC 28078) ,  Mair R. (Rudolph Technologies, 550 Clark Drive, Budd Lake, NJ 07828) ,  Dai J. (Rudolph Technologies, 550 Clark Drive, Budd Lake, NJ 07828) ,  Zeng X. (Rudolph Technologies, 550 Clark Drive, Budd Lake, NJ 07828) ,  Mukundhan P. (Rudolph Technologies, 550 Clark Drive, Budd Lake, NJ 07828)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ASMC  ページ： 78-83  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ピコ秒超音波(PULSETM)は,インライン金属膜厚測定のための迅速,非接触,非破壊第一原理音響計測技術である。本論文では,エピタキシャル成長したAlNとAlGaN圧電層の測定への技術の応用について議論する。膜は透明であるので,縦音速を計算するためにBrillouin振動として記述される信号の振動成分を解析した。追加パラメータは材料の特性化を助け,報告された厚さの精度を改善するだけでなく,プロセス制御にも役立つ。速度を独立に計算することにより,ミス処理を検出し,膜品質を特性化することができることを示した。最後に,PULSEデータが個々の層厚を含むRFフィルタスタックに対する臨界厚さ測定を提供し,これがフィルタ性能の最適化を可能にすることを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 厚み測定 ,  第一原理 ,  *単結晶 ,  窒化アルミニウム ,  品質 ,  音速 ,  *ピコ秒 ,  臨界 ,  *圧電材料 ,  *超音波 ,  *圧電気 ,  音響測定 ,  *フィルタ ,  最適化
準シソーラス用語： 非接触 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (6件)： ピコ秒 ,  超音波 ,  RF ,  単結晶 ,  圧電材料 ,  特性評価