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J-GLOBAL ID：201802299667203734   整理番号：18A2041503

長寿命冷陰極電子ビーム用の高伝導性カーボンナノチューブエミッタの作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of highly conductive carbon nanotube emitters for long-life cold cathode electron beam

著者 (3件)： Kang Jung Su (Department of Information Display and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University, Dongdaemoon-ku, Seoul, 02447, Korea) ,  Lee Hye In (Department of Information Display and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University, Dongdaemoon-ku, Seoul, 02447, Korea) ,  Park Kyu Chang (Department of Information Display and Advanced Display Research Center, Kyung Hee University, Dongdaemoon-ku, Seoul, 02447, Korea)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： IVNC  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空ナノ電子デバイス用のモリブデン層を有する高性能カーボンナノチューブ冷陰極電子源を開発した。CNT成長のためのDC-PECVDシステムにより,プラズマ中の高エネルギーイオンラジカルはMo層をエッチし,次にCNTエミッタ上に被覆したエッチング蒸気をエッチングすることができた。パターン化Mo層により,CNTエミッタの特性は,エミッタの放出電流と伝導率として改善された。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマ ,  エッチング ,  モリブデン ,  電子源 ,  パターン形成 ,  プラズマCVD ,  ラジカルイオン ,  *カーボンナノチューブ ,  *電子ビーム
準シソーラス用語： 伝導率 ,  放出電流 ,  高エネルギー ,  *冷陰極 ,  *長寿命 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 長寿命 ,  冷陰極 ,  電子ビーム ,  カーボンナノチューブ ,  エミッタ ,  作製