特許
J-GLOBAL ID：201803000156856865
ダイアフラム弁
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山田 強
, 松田 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-163996
公開番号（公開出願番号）：特開2018-031428
出願日： 2016年08月24日
公開日（公表日）： 2018年03月01日
要約：
【課題】ダイアフラム弁体に接続された往復動部材の中心軸が振れることに起因するパーティクルの発生を抑制することのできるダイアフラム弁を提供する。【解決手段】流体の流路21及び弁室22が形成されたハウジング20,30と、ハウジングにおいて、弁室に対する流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座24と、弁室を流体の流路と非流路とに区画し、弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体40と、ダイアフラム弁体に接続され、弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材61と、往復動部材に力を加えてダイアフラム弁体を弁座に押し付ける押付部70,12と、金属により薄板状に形成され所定方向に貫通した往復動部材の外縁に取り付けられ、往復動部材の往復動を所定方向に変形して許容し、且つ所定方向に垂直な方向への往復動部材の移動を規制する規制部材91,94と、を備えるダイアフラム弁18。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流体の流路及び弁室が形成されたハウジングと、
前記ハウジングにおいて、前記弁室に対する前記流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座と、
前記弁室を前記流体の流路と非流路とに区画し、前記弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体と、
前記ダイアフラム弁体に接続され、前記弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材と、
前記往復動部材に力を加えて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付ける押付部と、
金属により薄板状に形成され前記所定方向に貫通した前記往復動部材の外縁に取り付けられ、前記往復動部材の前記往復動を前記所定方向に変形して許容し、且つ前記所定方向に垂直な方向への前記往復動部材の移動を規制する規制部材と、
を備えるダイアフラム弁。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
3H056AA07
, 3H056BB04
, 3H056BB41
, 3H056CA03
, 3H056CB03
, 3H056CD04
, 3H056DD03
, 3H056EE08
, 3H056GG04
, 3H056GG11
