特許

J-GLOBAL ID：201803000166063022

照明光学系、露光装置、および物品製造方法

発明者： 安永 大輔
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  大塚 康弘 ,  高柳 司郎 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-207255
公開番号（公開出願番号）：特開2018-066956
出願日： 2016年10月21日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
要約：

【課題】低コストかつ省スペースでありながらも、照明領域を規定する遮光板の形状を精度良く目標形状に整形する技術を提供する。【解決手段】光源からの光で被照明面を照明する照明光学系が提供される。照明光学系は、前記光源と前記被照明面との間に設けられ、前記被照明面における照明領域の形状を規定する開口の少なくとも一部の形状を形成する遮光板と、前記遮光板に力を加えて該遮光板を変形させることにより前記開口の形状を調整する複数の調整部とを有する。前記複数の調整部は、前記遮光板の互いに異なる複数の位置に力を加えるように構成され、前記複数の調整部のうち少なくとも1つの調整部は、該調整部が前記遮光板に力を加える位置を変更可能に構成されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

光源からの光で被照明面を照明する照明光学系であって、 前記光源と前記被照明面との間に設けられ、前記被照明面における照明領域の形状を規定する開口の少なくとも一部の形状を形成する遮光板と、 前記遮光板に力を加えて該遮光板を変形させることにより前記開口の形状を調整する複数の調整部と、 を有し、 前記複数の調整部は、前記遮光板の互いに異なる複数の位置に力を加えるように構成され、 前記複数の調整部のうち少なくとも1つの調整部は、該調整部が前記遮光板に力を加える位置を変更可能に構成されている ことを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G02B 19/00 ,  G02B 7/00

FI (4件)：

G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  G02B19/00 ,  G02B7/00 G

Fターム (13件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  2H197AA09 ,  2H197BA04 ,  2H197BA10 ,  2H197CB16 ,  2H197CB25 ,  2H197DB06 ,  2H197DB33 ,  2H197HA03 ,  2H197HA05