特許

J-GLOBAL ID：201803000190755334

撮像装置、撮像方法およびプログラム

発明者： 福原 誠 ,  坂川 航
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 岡部 讓 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-036642
公開番号（公開出願番号）：特開2018-140004
出願日： 2017年02月28日
公開日（公表日）： 2018年09月13日
要約：

【課題】リサージュ図形に類似の図形を描くように測定光を走査する際に、該測定光の照射位置の精度を維持して中央部分でも画像情報を均等な間隔で取得する。【解決手段】被検査物上で、第1の周期で第1の方向に光を往復走査する第1の走査手段と、被検査物上で、第1の周期の整数倍でない第2の周期で第1の方向とは異なる第2の方向に光を往復走査する第2の走査手段と、光の往路走査と復路走査とが変更される領域を含み且つ光の走査速度を変化させる第1の領域と光の走査速度の変化が第1の領域よりも小さい第2の領域とが光により走査されるように、第1の走査手段および第2の走査手段を制御する制御手段と、光が照射された被検査物からの戻り光より得られた情報を用いて被検査物の画像を生成する画像生成手段と、を撮像装置に配する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

被検査物上で、第1の周期で第1の方向に光を往復走査する第1の走査手段と、 前記被検査物上で、前記第1の周期の整数倍でない第2の周期で前記第1の方向とは異なる第2の方向に前記光を往復走査する第2の走査手段と、 前記光の往路走査と復路走査とが変更される領域を含み且つ前記光の走査速度を変化させる第1の領域と前記光の走査速度の変化が前記第1の領域よりも小さい第2の領域とが前記光により走査されるように、前記第1の走査手段および前記第2の走査手段を制御する制御手段と、 前記光が照射された前記被検査物からの戻り光より得られた情報を用いて前記被検査物の画像を生成する画像生成手段と、 を備えることを特徴とする撮像装置。

IPC (2件)：

A61B 3/10 ,  G01N 21/17

FI (2件)：

A61B3/10 R ,  G01N21/17 630

Fターム (22件)：

2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE17 ,  2G059FF02 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059LL01 ,  2G059MM01 ,  4C316AA09 ,  4C316AB03 ,  4C316AB04 ,  4C316AB11 ,  4C316FB06 ,  4C316FY06 ,  4C316FZ01 ,  4C316FZ03