感光性エレメント、積層体、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 清水義憲 , 平野裕之
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016070163
公開番号（公開出願番号）：WO2017-007001
出願日： 2016年07月07日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
要約：

微小な抜けが少ないレジストパターンを形成できる感光性エレメントの提供を目的とし、支持フィルムと、中間層と、感光層とをこの順で備える感光性エレメントであって、上記支持フィルムの厚みが20μm以上であり、該支持フィルムに含まれる直径5μm以上の粒子の数が30個/mm2以下である、感光性エレメントを提供する。

請求項（抜粋）：

支持フィルムと、中間層と、感光層とをこの順で備える感光性エレメントであって、前記支持フィルムの厚みが20μm以上であり、該支持フィルムに含まれる直径5μm以上の粒子の数が30個/mm2以下である、感光性エレメント。

IPC (5件)：

G03F 7/11 , G03F 7/004 , G03F 7/09 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (6件)：

G03F7/11 503 , G03F7/004 512 , G03F7/11 502 , G03F7/09 501 , H05K3/06 J , H05K3/18 D

Fターム (69件)：

2H225AC34 , 2H225AC36 , 2H225AC63 , 2H225AC64 , 2H225AD14 , 2H225AD24 , 2H225AM10N , 2H225AM13N , 2H225AM13P , 2H225AM22N , 2H225AM22P , 2H225AM23N , 2H225AM23P , 2H225AM32N , 2H225AM32P , 2H225AM53N , 2H225AM58N , 2H225AM86N , 2H225AN10N , 2H225AN10P , 2H225AN12N , 2H225AN12P , 2H225AN23P , 2H225AN35N , 2H225AN35P , 2H225AN47N , 2H225AN47P , 2H225AN60N , 2H225AN66P , 2H225AP01N , 2H225BA01N , 2H225BA02N , 2H225BA02P , 2H225BA09P , 2H225BA17P , 2H225BA18P , 2H225BA33N , 2H225CA13 , 2H225CB05 , 2H225CC01 , 2H225CC13 , 2H225DA22 , 2H225DA26 , 5E339BC02 , 5E339BD03 , 5E339BD08 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CE11 , 5E339CE12 , 5E339CE16 , 5E339CF01 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD02 , 5E339GG02 , 5E343AA22 , 5E343BB24 , 5E343BB52 , 5E343BB67 , 5E343CC62 , 5E343DD33 , 5E343DD43 , 5E343DD76 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG08

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