特許

J-GLOBAL ID：201803000276039402

ドア開閉システムおよびドア開閉システムを備えたロードポート

発明者： 河合 俊宏 ,  谷山 育志 ,  小宮 宗一 ,  重田 貴司
出願人/特許権者： シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人梶・須原特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016070567
公開番号（公開出願番号）：WO2017-022431
出願日： 2016年07月12日
公開日（公表日）： 2017年02月09日
要約：

FOUPとEFEMとを連通する際、FOUPおよびEFEM内に大気が侵入するのを防止するドア開閉システムおよびドア開閉システムを備えたロードポートを提供する。 搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベース41と、ベース41に設けられた開口部92と、開口部92を開閉可能なドア81と、ベース41と容器7との間をシールする第1シール部材94と、ベース41とドア81との間をシールする第2シール部材96と、第1シール部材94を介して容器7が開口部92と当接する状態にあるとき、ベース41、第1シール部材94、第2シール部材96、蓋体72、およびドア81によって構成された密閉空間と、密閉空間にガスを注入する第1ガス注入部87と、密閉空間を排気する第2ガス排出部88と、を備えた。

請求項（抜粋）：

搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、 前記ベースに設けられた開口部と、 前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、 前記ベースと前記容器との間をシールする第1シール部材と、 前記ベースと前記ドアとの間をシールする第2シール部材と、 前記第1シール部材を介して前記容器が前記開口部と当接する状態にあるとき、少なくとも前記第1シール部材、前記第2シール部材、前記蓋体、および前記ドアによって構成された密閉空間と、 前記密閉空間にガスを注入する第1ガス注入部と、 前記密閉空間を排気する第2ガス排出部と、 を備えたことを特徴とするドア開閉システム。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/00

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/00 C

Fターム (38件)：

5F131AA02 ,  5F131BB04 ,  5F131CA12 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131GA14 ,  5F131GA15 ,  5F131GA16 ,  5F131GA63 ,  5F131GA83 ,  5F131GA84 ,  5F131GA88 ,  5F131GA92 ,  5F131HA28 ,  5F131HA29 ,  5F131JA04 ,  5F131JA15 ,  5F131JA16 ,  5F131JA20 ,  5F131JA24 ,  5F131JA25 ,  5F131JA27 ,  5F131JA28 ,  5F131JA32 ,  5F131JA33 ,  5F131JA34 ,  5F131JA35 ,  5F131KA06 ,  5F131KA22 ,  5F131KA24 ,  5F131KA40