特許
J-GLOBAL ID：201803000278939150
光学フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-098442
公開番号（公開出願番号）：特開2014-219546
特許番号：特許第6292766号
出願日： 2013年05月08日
公開日（公表日）： 2014年11月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表面プラズモン共鳴を用いて特定の波長帯域の光を選択的に透過させる光学フィルタの製造方法において、
誘電体からなる第1誘電体層上に、前記第1誘電体層よりも屈折率の高い誘電体からなる第2誘電体層を形成し、
前記第2誘電体層上に、前記第2誘電体層よりも屈折率の低い誘電体からなる第3誘電体層を形成し、
前記第3誘電体層上に、平面方向に周期的構造を有した金属からなり、前記第3誘電体層との界面で表面プラズモン共鳴を生じさせる金属層を形成し、
前記第2誘電体層の厚さは、下記数式(1)を満たして透過を制限される波長帯が、前記表面プラズモン共鳴による透過波長ピークよりも短波長側となるようにし、かつ、下記数式(1)を満たさず透過する波長帯が、前記表面プラズモン共鳴による透過波長ピークと重なるように設定する、
ことを特徴とする光学フィルタの製造方法。
上記数式(1)において、k0は波数、βは伝搬定数、dは第2誘電体層の厚さ、ε1、ε2、ε3はそれぞれ第1誘電体層、第2誘電体層、第3誘電体層の誘電率、mは整数を示している。
IPC (2件)：
G02B 5/28 ( 200 6.01)
, B32B 15/04 ( 200 6.01)
