切削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：青木宏義 , 天田昌行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-138338
公開番号（公開出願番号）：特開2018-010952
出願日： 2016年07月13日
公開日（公表日）： 2018年01月18日
要約：

【課題】加工開始前に切削水供給ノズルが適正に位置付けられているか確認できるようにすること。【解決手段】切削装置(1)は、切削ブレード(41)に切削水を供給する冷却ノズル(46)及びシャワーノズル(47)を有する切削手段(4)と、切削ブレードを回転駆動するモータ(44)の負荷電流値を検出する負荷電流値検出手段(48)と、切削手段及び負荷電流値検出手段を制御する制御手段(9)とを備えている。制御手段は、各ノズルが適正な位置に位置付けられた状態で、所定量の切削水を供給しつつ所定スピンドル回転数で切削ブレードを回転させた際のモータの負荷電流値に基づく任意の値を閾値として予め記憶する記憶部(91)と、所定量の切削水を供給しつつ所定スピンドル回転数で切削ブレードを回転させた際に検出した負荷電流値と、記憶部が記憶した閾値との比較結果に応じ、正常又は異常を判断する判断部(92)とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回転可能に支持されたスピンドルと、該スピンドルを回転駆動するモータと、該スピンドルの先端部に装着された切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給ノズルとを有する切削手段と、該モータの負荷電流値を検出する負荷電流値検出手段と、該切削手段及び該負荷電流値検出手段を制御する制御手段と、を備え、被加工物を切削加工する切削装置であって、該制御手段は、該切削水供給ノズルが適正な位置に位置付けられた状態で、所定量の切削水を供給しつつ所定スピンドル回転数で切削ブレードを回転させた際の、該負荷電流値検出手段で検出した負荷電流値に基づく任意の値を閾値として予め記憶する記憶部と、該所定量の切削水を供給しつつ所定スピンドル回転数で該切削ブレードを回転させた際の該負荷電流値検出手段で検出した負荷電流値と該記憶部が記憶した該閾値との比較結果に応じ、正常又は異常を判断する判断部と、を備える切削装置。

IPC (4件)：

H01L 21/301 , B24B 27/06 , B24B 49/10 , B24B 55/02

FI (4件)：

H01L21/78 F , B24B27/06 M , B24B49/10 , B24B55/02 D

Fターム (41件)：

3C034AA19 , 3C034BB73 , 3C034BB87 , 3C034BB92 , 3C034CA16 , 3C034CB14 , 3C034DD10 , 3C034DD18 , 3C047GG01 , 3C158AA03 , 3C158AA13 , 3C158AA16 , 3C158AB04 , 3C158AC02 , 3C158AC04 , 3C158BA01 , 3C158BA06 , 3C158BA13 , 3C158BB02 , 3C158BB08 , 3C158BC03 , 3C158CA01 , 3C158CA04 , 3C158CA05 , 3C158CA06 , 3C158CB01 , 3C158CB06 , 3C158DA17 , 5F063AA29 , 5F063AA40 , 5F063BA33 , 5F063BA43 , 5F063BA47 , 5F063BA48 , 5F063DD02 , 5F063DD21 , 5F063DE23 , 5F063DE31 , 5F063DE33 , 5F063EE21 , 5F063FF28

引用特許：

出願人引用 (7件)

加工装置及び加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-284295 出願人：株式会社東芝
切削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-088236 出願人：株式会社ディスコ
研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-302851 出願人：豊田工機株式会社

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審査官引用 (5件)

加工装置及び加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-284295 出願人：株式会社東芝
切削方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-088236 出願人：株式会社ディスコ
研削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-302851 出願人：豊田工機株式会社

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