特許
J-GLOBAL ID：201803000319412641

保持装置、露光装置、及び露光方法、並びにデバイスの製造方法

発明者：
宮川 智樹

宮川 智樹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 西澤 和純 ,  大浪 一徳 ,  小林 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-098468
公開番号（公開出願番号）：特開2018-139011
出願日： 2018年05月23日
公開日（公表日）： 2018年09月06日
要約：
【課題】マスクに形成されたパターンを精確に基板に露光するための保持装置を提供する。【解決手段】物体を第1軸と前記第1軸に直交する第2軸とを含む平面に平行に保持可能な保持装置であって、ベースと、前記物体の少なくとも一部を保持面に吸着して保持する第1部材と、前記ベースに連結された第2部材と、前記第1部材と前記第2部材とを接続する接続部材とを含む保持部と、前記保持部の少なくとも一部を動かして、前記第2部材と前記ベースとの連結部を支点として前記第2軸回りに前記保持面の傾きを変化させる駆動部と、を備え、前記保持面の傾きを変化させることによって前記物体を変形させ、前記保持面の傾きを変化させる際に、前記接続部材が変形することにより、前記保持面の位置は前記第1軸方向に沿って変化する。【選択図】図7A
請求項（抜粋）：
物体を第1軸と前記第1軸に直交する第2軸とを含む平面に平行に保持可能な保持装置であって、 ベースと、 前記物体の少なくとも一部を保持面に吸着して保持する第1部材と、前記ベースに連結された第2部材と、前記第1部材と前記第2部材とを接続する接続部材とを含む保持部と、 前記保持部の少なくとも一部を動かして、前記第2部材と前記ベースとの連結部を支点として前記第2軸回りに前記保持面の傾きを変化させる駆動部と、 を備え、 前記保持面の傾きを変化させることによって前記物体を変形させ、 前記保持面の傾きを変化させる際に、前記接続部材が変形することにより、前記保持面の位置は前記第1軸方向に沿って変化する保持装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/683
FI (3件)：
G03F7/20 502 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 N
Fターム (62件)：
2H197AA06 ,  2H197AA07 ,  2H197AA08 ,  2H197AA09 ,  2H197AA12 ,  2H197BA02 ,  2H197BA04 ,  2H197BA09 ,  2H197BA21 ,  2H197CA06 ,  2H197CA07 ,  2H197CA08 ,  2H197CB16 ,  2H197CC01 ,  2H197CC16 ,  2H197CD02 ,  2H197CD03 ,  2H197CD06 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD35 ,  2H197CD41 ,  2H197CD42 ,  2H197CD43 ,  2H197CD44 ,  2H197CD48 ,  2H197DB10 ,  2H197DB19 ,  2H197DB22 ,  2H197DB23 ,  2H197DB26 ,  2H197DB27 ,  2H197EA06 ,  2H197EB16 ,  2H197EB18 ,  2H197EB22 ,  2H197EB24 ,  2H197FB03 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA09 ,  5F131AA03 ,  5F131AA13 ,  5F131BA13 ,  5F131BA39 ,  5F131BA52 ,  5F131BA54 ,  5F131CA06 ,  5F131EA02 ,  5F131EA05 ,  5F131EB02 ,  5F131EB58 ,  5F131EB78 ,  5F131KA16 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB23
引用特許：
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM