X線顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：植木久一 , 植木久彦 , 菅河忠志 , 伊藤浩彰
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016078070
公開番号（公開出願番号）：WO2017-051890
出願日： 2016年09月23日
公開日（公表日）： 2017年03月30日
要約：

路長を短縮し、室内搬入サイズのX線顕微鏡を提供するため、X線源1と、試料保持部3と、凹面KBミラー4と、凸面KBミラー5と、試料保持部3の位置と結像関係の位置にある受光部8とを、光軸に沿って順に、少なくとも一つずつ有するX線顕微鏡を作製する。

請求項（抜粋）：

X線源と、試料保持部と、反射凹面を有するKirkpatrick-Baezミラー(以下、「凹面KBミラー」と記載する)と、反射凸面を有するKirkpatrick-Baezミラー(以下、「凸面KBミラー」と記載する)と、前記試料保持部の位置と結像関係の位置にある受光部とを、順に有するX線顕微鏡。

IPC (3件)：

G21K 7/00 , G21K 1/06 , G21K 1/00

FI (4件)：

G21K7/00 , G21K1/06 B , G21K1/06 G , G21K1/00 X

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