特許

J-GLOBAL ID：201803000409501880

照明装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法。及び出力方法

発明者： 八重樫 憲司 ,  松本 英樹 ,  杉山 易 ,  岩井 俊樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-130916
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006552
出願日： 2016年06月30日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：

【課題】 温度センサによる温度の検出結果を使用せずに、光源に応じた光源の搬出に関する情報を出力すること。【解決手段】 本発明の照明装置100は、筐体18に収容された光源12からの光を物体1、2に導く照明系6,7と、光源12の種類を識別する識別手段15と、識別手段15による識別結果に基づいて、筐体18からの光源11の搬出の搬出に関する情報を出力する出力手段16と、を有することを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

筐体に収容された光源からの光を物体に導く照明系と、 前記光源の種類を識別する識別手段と、 前記識別手段による識別結果に基づいて、前記筐体からの前記光源の搬出に関する情報を出力する出力手段と、を有することを特徴とする照明装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  B29C 59/02 ,  F21S 2/00 ,  F21V 29/503 ,  F21V 29/83

FI (7件)：

H01L21/30 502D ,  G03F7/20 521 ,  G03F7/20 501 ,  B29C59/02 Z ,  F21S2/00 381 ,  F21V29/503 ,  F21V29/83

Fターム (26件)：

2H197AA50 ,  2H197CA01 ,  2H197CA02 ,  2H197CA03 ,  2H197CA16 ,  2H197HA03 ,  2H197HA10 ,  3K243AA01 ,  3K243CC04 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AP19 ,  4F209AR11 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA28 ,  5F146AA31 ,  5F146CA00 ,  5F146CA10 ,  5F146DD06