特許

J-GLOBAL ID：201803000413237314

露光装置、およびそれを用いたデバイスの製造方法

発明者： 松本 英樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 高岡 亮一 ,  小田 直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-017801
公開番号（公開出願番号）：特開2018-097384
出願日： 2018年02月05日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
要約：

【課題】複数の基板ステージ間で、その表面上で液浸液を効率良く受け渡すのに有利な液浸型の露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、基板を計測する計測領域と、投影光学系を介して基板を露光する露光領域とを有し、投影光学系の最終レンズと露光領域にある基板との間に液浸液13が供給されている状態で基板を露光する。また、露光装置は、基板を保持して移動可能な第1ステージおよび第2ステージと、第1ステージおよび第2ステージの駆動を制御する制御部と、を備える。制御部は、第1ステージから第2ステージに液浸液13を受け渡すときの第1ステージ上の液浸液13の位置である受け渡し位置を、第1ステージ上の基板の露光終了位置に基づいて第1ステージ上の任意の位置に決定し、該決定された受け渡し位置に基づいて第1ステージおよび第2ステージを駆動させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板を計測する計測領域と、投影光学系を介して前記基板を露光する露光領域とを有し、前記投影光学系の最終レンズと前記露光領域にある前記基板との間に液浸液が供給されている状態で前記基板を露光する露光装置であって、 前記基板を保持して移動可能な第1ステージおよび第2ステージと、 前記第1ステージおよび前記第2ステージの駆動を制御する制御部と、を備え、 前記制御部は、前記第1ステージから前記第2ステージに前記液浸液を受け渡すときの前記第1ステージ上の前記液浸液の位置である受け渡し位置を、前記第1ステージ上の前記基板の露光終了位置に基づいて前記第1ステージ上の任意の位置に決定し、該決定された受け渡し位置に基づいて前記第1ステージおよび前記第2ステージを駆動させることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K

Fターム (31件)：

2H197AA06 ,  2H197AA12 ,  2H197BA11 ,  2H197CA01 ,  2H197CB16 ,  2H197CC16 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD35 ,  2H197CD43 ,  2H197CD48 ,  2H197DB26 ,  2H197DB27 ,  2H197HA03 ,  2H197HA05 ,  5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131CA32 ,  5F131CA38 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131KA03 ,  5F131KA16 ,  5F131KA44 ,  5F131KA48 ,  5F131KB32