特許

J-GLOBAL ID：201803000525721480

検査システム、検査方法、検査プログラム、および記憶媒体

発明者： 八田 博志 ,  西谷 豊 ,  福井 涼 ,  宇都宮 真 ,  石川 真志 ,  小山 昌志 ,  笠野 英行 ,  小笠原 永久 ,  山田 浩之
出願人/特許権者： 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 ,  株式会社KJTD ,  国立大学法人徳島大学 ,  学校法人明星学苑 ,  学校法人日本大学
代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  橋本 宏之 ,  山口 洋 ,  沖田 壮男 ,  荒 則彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-240432
公開番号（公開出願番号）：特開2018-096780
出願日： 2016年12月12日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
要約：

【課題】検査対象物に対して広範囲かつ高精度に検査を行うことができる検査システム、検査方法、検査プログラム、および記憶媒体を提供する。【解決手段】本発明の一態様の検査システムは、検査対象物を加熱する加熱装置と、前記加熱装置によって加熱された前記検査対象物の赤外線画像を撮像する撮像装置と、前記検査対象物の表面状態を検出するセンサと、前記検査対象物の検査画像を生成する検査装置と、を備える。前記検査装置は、前記センサの検出値に基づいて、前記加熱装置、前記撮像装置、前記センサ、および前記検査装置が一体で移動するのに伴って前記撮像装置により連続的に撮像された赤外線画像を合成して前記検査画像を生成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象物を加熱する加熱装置と、 前記加熱装置によって加熱された前記検査対象物の赤外線画像を撮像する撮像装置と、 前記検査対象物の表面状態を検出するセンサと、 前記検査対象物の検査画像を生成する検査装置と、を備え、 前記検査装置は、前記センサの検出値に基づいて、前記加熱装置、前記撮像装置、前記センサ、および前記検査装置が一体で移動するのに伴って前記撮像装置により連続的に撮像された赤外線画像を合成して前記検査画像を生成する、 検査システム。

IPC (3件)：

G01N 25/72 ,  G01N 21/88 ,  G01J 5/48

FI (3件)：

G01N25/72 K ,  G01N21/88 Z ,  G01J5/48 A

Fターム (17件)：

2G040AA05 ,  2G040AB09 ,  2G040BA14 ,  2G040BA25 ,  2G040CA01 ,  2G040DA06 ,  2G040EA06 ,  2G040HA02 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA06 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G066AC09 ,  2G066BA14 ,  2G066CA04