硬質皮膜、硬質皮膜被覆部材及びその製造方法、及び硬質皮膜の製造に用いるターゲット及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高石橘馬 , 高石健二
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016082794
公開番号（公開出願番号）：WO2017-094440
出願日： 2016年11月04日
公開日（公表日）： 2017年06月08日
要約：

(AlxTiyMz)aN(1-a-b)Ob(ただし、MはCr及びNbの少なくとも一種の元素であり、x、y、z、a及びbはそれぞれ原子比で、0.6≦x≦0.8、0.05≦y≦0.38、0.02≦z≦0.2、x+y+z=1、0.2≦a≦0.8、及び0.02≦b≦0.10を満たす数字である。)で表される組成を有する硬質皮膜であって、X線光電子分光分析法で特定された結合状態として不可避的不純物レベルを超えたAl-O結合を有さずにM-O結合を有し、かつX線回折パターンが岩塩型の単一構造を有する硬質皮膜。

請求項（抜粋）：

(AlxTiyMz)aN(1-a-b)Ob(ただし、MはCr及びNbの少なくとも一種の元素であり、x、y、z、a及びbはそれぞれ原子比で、0.6≦x≦0.8、0.05≦y≦0.38、0.02≦z≦0.2、x+y+z=1、0.2≦a≦0.8、及び0.02≦b≦0.10を満たす数字である。)で表される組成を有する硬質皮膜であって、 X線光電子分光分析法で特定された結合状態として不可避的不純物レベルを超えたAl-O結合を有さずにM-O結合を有し、かつ X線回折パターンが岩塩型の単一構造を有することを特徴とする硬質皮膜。

IPC (6件)：

C23C 14/06 , C23C 14/32 , C23C 14/24 , C04B 35/58 , B23C 5/16 , B23B 27/14

FI (6件)：

C23C14/06 K , C23C14/32 Z , C23C14/24 E , C04B35/58 , B23C5/16 , B23B27/14 A

Fターム (19件)：

3C046FF09 , 3C046FF10 , 3C046FF13 , 3C046FF18 , 4K029AA04 , 4K029BA41 , 4K029BB07 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029CA04 , 4K029CA13 , 4K029DA08 , 4K029DB05 , 4K029DB14 , 4K029DD06 , 4K029EA08 , 4K029FA04 , 4K029FA05 , 4K029JA02

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