特許

J-GLOBAL ID：201803000645314080

検査装置及び検査方法

発明者： 中村 共則
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柴山 健一 ,  中山 浩光
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016083855
公開番号（公開出願番号）：WO2017-094495
出願日： 2016年11月15日
公開日（公表日）： 2017年06月08日
要約：

検査装置1は、第1の波長を有する第1の光及び第2の波長を有する第2の光を出力する光出力部3と、反射膜13が計測対象物Dに対向するように配置される磁気光学結晶6と、第1の光及び前記第2の光を検出する光検出部7と、第1の光及び第2の光を磁気光学結晶6及び計測対象物Dに向けて導光すると共に、磁気光学結晶6で反射した第1の光と、計測対象物Dで反射した第2の光とを光検出部7に向けて導光する導光光学系4Aと、を備え、導光光学系4Aは、第1の光及び第2の光が選択的に光検出部7に入射するように、複数の光学素子による光路を切り替える光路切替素子Mを有している。

請求項（抜粋）：

計測対象物の検査を行う検査装置であって、 第1の波長を有する第1の光、及び前記第1の波長とは異なる第2の波長を有する第2の光を出力する光出力部と、 前記第1の光を反射する反射面を有し、当該反射面が前記計測対象物に対向するように配置される磁気光学結晶と、 前記第1の光及び前記第2の光を検出する光検出部と、 複数の光学素子によって構成され、前記第1の光及び前記第2の光を前記磁気光学結晶及び前記計測対象物に向けて導光すると共に、前記磁気光学結晶で反射した前記第1の光と、前記計測対象物で反射した前記第2の光とを前記光検出部に向けて導光する導光光学系と、を備え、 前記導光光学系は、前記第1の光及び前記第2の光が選択的に前記光検出部に入射するように、前記複数の光学素子による光路を切り替える光路切替素子を有している検査装置。

IPC (2件)：

G01N 27/82 ,  G01N 21/956

FI (2件)：

G01N27/82 ,  G01N21/956 A

Fターム (19件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051CB01 ,  2G051CC12 ,  2G051CC15 ,  2G051EA16 ,  2G053AA11 ,  2G053AB13 ,  2G053BA03 ,  2G053BA15 ,  2G053BC02 ,  2G053CA09 ,  2G053CA20 ,  2G053CB25 ,  2G053CB27 ,  2G053CB29 ,  2G053DB07