ブレード加工装置及びブレード加工方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-247994
公開番号（公開出願番号）：特開2018-103356
出願日： 2017年12月25日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
要約：

【課題】脆性材料から構成されるワークに対しても、クラックや割れを発生させることなく、延性モードで安定して精度良く切断加工を行うことができるブレード加工装置及びブレード加工方法を提供する。【解決手段】多結晶ダイヤモンド26aによって構成され回転駆動されるブレード26に対し、放電加工によりブレード26の先端をドレッシング加工するブレード加工部202を備える。【選択図】図26

請求項（抜粋）：

多結晶ダイヤモンドによって構成され回転駆動されるブレードに対し、放電加工により前記ブレードの先端をドレッシング加工するブレード加工手段を備える、ブレード加工装置。

IPC (2件)：

B24B 53/00 , H01L 21/301

FI (4件)：

B24B53/00 K , H01L21/78 F , B24B53/00 D , B24B53/00 C

Fターム (9件)：

3C047AA13 , 3C047AA21 , 3C047AA26 , 3C047AA32 , 5F063AA05 , 5F063BA48 , 5F063CB02 , 5F063CB05 , 5F063DD22

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-121172
カッターホイール並びにその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-190741 出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社
放電加工方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-326321 出願人：松下電器産業株式会社

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