特許
J-GLOBAL ID:201803000698518451
積層体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人平和国際特許事務所
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2016088764
公開番号(公開出願番号):WO2017-111173
出願日: 2016年12月26日
公開日(公表日): 2017年06月29日
要約:
基板と、オーミック電極層と、金属酸化物半導体層と、ショットキー電極層と、バッファー電極層とをこの順に有し、前記ショットキー電極層と前記バッファー電極層の間に還元抑制層を有する積層体。
請求項(抜粋):
基板と、オーミック電極層と、金属酸化物半導体層と、ショットキー電極層と、バッファー電極層とをこの順に有し、
前記ショットキー電極層と前記バッファー電極層の間に還元抑制層を有する積層体。
IPC (5件):
H01L 29/872
, H01L 29/861
, H01L 29/868
, H01L 29/06
, H01L 29/47
FI (10件):
H01L29/86 301M
, H01L29/91 K
, H01L29/86 301D
, H01L29/86 301E
, H01L29/06 301G
, H01L29/06 301V
, H01L29/86 301F
, H01L29/06 301M
, H01L29/48 M
, H01L29/48 D
Fターム (36件):
4M104AA01
, 4M104AA03
, 4M104AA09
, 4M104BB02
, 4M104BB04
, 4M104BB05
, 4M104BB06
, 4M104BB07
, 4M104BB08
, 4M104BB13
, 4M104BB14
, 4M104BB16
, 4M104BB18
, 4M104BB36
, 4M104CC01
, 4M104CC03
, 4M104DD34
, 4M104DD36
, 4M104DD37
, 4M104DD43
, 4M104DD51
, 4M104EE06
, 4M104EE14
, 4M104EE15
, 4M104EE16
, 4M104EE17
, 4M104FF02
, 4M104GG03
, 4M104GG04
, 4M104GG05
, 4M104GG09
, 4M104GG11
, 4M104GG18
, 4M104HH08
, 4M104HH12
, 4M104HH15
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